一种电迁移串行测试系统及方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119881507A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510368919.4

    申请日:2025-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种电迁移串行测试系统及方法,所述系统包括恒定电流源、电阻测试设备、开关阵列、处理及控制模块,开关阵列包括第一总开关、第二总开关、多个测试开关和多个短路开关;恒定电流源通过第一总开关与串联连接的多个试验样品连接,对试验样品加载电流应力;电阻测试设备通过第二总开关分别与多个试验样品并联连接,采集每个试验样品的电阻数据;多个测试开关分别连接在电阻测试设备与试验样品之间;处理及控制模块通过控制开关阵列实现对试验样品电阻的依次测试,根据电阻数据判定失效的试验样品,并控制多个短路开关对失效的试验样品进行短路。本发明能够大幅度减少电迁移试验设备使用数量,有效提高试验效率,降低时间和经济成本。

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