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公开(公告)号：CN101182627A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 财团法人山形县产业技术振兴机构 , 三菱重工业株式会社 , 三菱日立制铁机械株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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公开(公告)号：CN1676659A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN100482850C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1648279A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510006399.5
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN1648278A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510006398.0
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(18)侧朝玻璃基板(12)侧流入的蒸镀材料(15)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对蒸镀材料(15)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100510163C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510006399.5
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN100363532C
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200510006398.0
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(18)侧朝玻璃基板(12)侧流入的蒸镀材料(15)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对蒸镀材料(15)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN100503881C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610006228.7
申请日：2006-01-23
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有至少一个设置在坩锅上表面内的狭缝凹槽。所述至少一个狭缝凹槽具有从该坩锅上表面的一端到其另一端的长度。所述至少一个狭缝凹槽用作为用于容纳蒸发材料(掺杂材料等)的部分。可替换地，一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有多个设置在坩锅上表面内的孔。这些孔用作为用于容纳蒸发材料的部分。另外，该坩锅分成多个区域，在坩锅下表面之下为相应区域设置单独的电加热器，从而能通过这些电加热器为相应区域单独控制温度。
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公开(公告)号：CN101182627B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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公开(公告)号：CN1162048C
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN98122397.4
申请日：1998-12-04
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C2/28 , C21D9/60 , Y02P10/253
Abstract: 一种镀锌钢板合金化系统，该合金化系统使用感应加热线圈，其中在感应加热线圈与高频电源之间设置了一个阻抗匹配装置。该阻抗匹配装置包括一个匹配变换器和一个切换装置，所说变换器具有一组中间触点以任意地选择一个匝数比，所说切换装置用于有选择地转换中间触点，从而即使当钢板负载阻抗变化时也能获得最大的电源输出，从而能够设定形成钢板合金层所需的适合加热温度。
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