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公开(公告)号:CN101779293A
公开(公告)日:2010-07-14
申请号:CN200980100102.8
申请日:2009-01-07
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/022466 , H01L21/02554 , H01L21/02573 , H01L21/02631 , H01L31/022483 , H01L31/0236 , H01L31/02366 , H01L31/0547 , H01L31/0687 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/544
Abstract: 本发明提供一种光电转换装置,通过最优化透明导电层来提高光电转换装置的短路电流。该光电转换装置(100)在基板(1)上具备第一透明电极层(2)、发电层(3)、第二透明电极层(6)、及背面电极层(4),其特征在于,上述第二透明电极层(6)的膜厚为80nm以上且100nm以下,且在波长600nm以上1000nm以下的区域上的所述第二透明电极层(6)的光吸收率为1.5%以下。以及光电转换装置(100),其特征在于,上述第二透明电极层(6)的膜厚为80nm以上且100nm以下,由上述第二透明电极层(6)及上述背面电极层(4)所反射的光的反射率在波长600nm以上且1000nm以下的区域为91%以上。
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公开(公告)号:CN101779295A
公开(公告)日:2010-07-14
申请号:CN200980100161.5
申请日:2009-01-09
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/1884 , H01L31/022425 , H01L31/0236 , H01L31/02366 , H01L31/046 , H01L31/0463 , H01L31/056 , H01L31/076 , Y02E10/52 , Y02E10/548
Abstract: 本发明提供一种转换装置及其制造方法,通过将背面结构的表面形状最适宜化,提高发电层的光吸收特性。光电转换装置(100)在基板(1)上从基板(1)侧依次具备第一透明电极层(2)、发电层(3)、第二透明电极层(6)、背面电极层(4),其特征在于,背面电极层(4)具备银薄膜,第二透明电极层(6)的背面电极层(4)侧的表面具有微细的凹凸形状,相对于表面的投影面积的表面积增加率为10%以上32%以下。以及,光电转换装置(100)在基板(1)上从基板(1)侧依次具备第一透明电极层(2)、发电层(3)、第二透明电极层(6)、背面电极层(4),其特征在于,背面电极层(4)具备银薄膜,第二透明电极层(6)的背面电极层(4)侧的表面具有微细的凹凸形状,第二透明电极层(6)具有针状晶体。
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公开(公告)号:CN1221037A
公开(公告)日:1999-06-30
申请号:CN98122776.7
申请日:1998-12-04
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C2/28 , C21D9/60 , H05B6/104 , Y02P10/253
Abstract: 一种使用感应加热线圈的镀锌钢板合金化系统,其中根据高频加热器的阻抗测得感应加热炉中钢板的温度,并通过反馈控制加热量,以形成钢板的合金层。
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公开(公告)号:CN103081116A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180016208.7
申请日:2011-09-09
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/076 , H01L31/046 , H01L31/1884 , H02S30/10 , Y02E10/548
Abstract: 本发明的目的在于提供一种抑制在背面电极层产生表面等离激元吸收的、转换效率高的光电转换装置的制造方法。一种光电转换装置(100)的制造方法,其在基板(1)上依次层叠第一透明电极层(2)、光电转换层(3)、第二透明电极层(5)、以及由金属膜构成的背面电极层(4),其中,在将水蒸气分压控制在0.6%以下的制膜室内利用溅射法形成第二透明电极层(5)。
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公开(公告)号:CN1869282A
公开(公告)日:2006-11-29
申请号:CN200610094520.9
申请日:2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法,其包括:有底筒状外部电极,其具有在插入作为被处理物的塑料容器时,包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小;衬套,其由电介质材料构成,在插入了所述容器时,至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间;排气管,其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面;内部电极,其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内,其插入深度为所述容器的纵向的大致全长,并与接地侧连接,同时,穿设有用于排出介质气体的排气孔;排气装置,其被安装在所述排气管上;气体供给装置,其用于向所述内部电极供给介质气体;高频电源,其被连接在所述外部电极。
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公开(公告)号:CN1697763A
公开(公告)日:2005-11-16
申请号:CN02820736.X
申请日:2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B65D23/02 , C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法,其包括:有底筒状外部电极,其具有在插入作为被处理物的塑料容器时,包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小;衬套,其由电介质材料构成,在插入了所述容器时,至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间;排气管,其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面;内部电极,其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内,其插入深度为所述容器的纵向的大致全长,并与接地侧连接,同时,穿设有用于排出介质气体的排气孔;排气装置,其被安装在所述排气管上;气体供给装置,其用于向所述内部电极供给介质气体;高频电源,其被连接在所述外部电极。
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公开(公告)号:CN101622719B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200880006731.X
申请日:2008-02-08
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/076 , H01L31/0463 , Y02E10/548
Abstract: 本发明提供一种能够以低成本获得更高性能的光电变换装置及其制造方法。具备被层叠的至少二层光电变换层、和介于所述二层光电变换层之间且对该二层光电变换层进行电连接及光学连接的中间层(93)的光电变换装置(90),在所述中间层(93)表面上具有等离子体抗性保护层(93A)。
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公开(公告)号:CN100564586C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200610094520.9
申请日:2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法,其包括:有底筒状外部电极,其具有在插入作为被处理物的塑料容器时,包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小;衬套,其由电介质材料构成,在插入了所述容器时,至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间;排气管,其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面;内部电极,其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内,其插入深度为所述容器的纵向的大致全长,并与接地侧连接,同时,穿设有用于排出介质气体的排气孔;排气装置,其被安装在所述排气管上;气体供给装置,其用于向所述内部电极供给介质气体;高频电源,其被连接在所述外部电极。
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公开(公告)号:CN101622719A
公开(公告)日:2010-01-06
申请号:CN200880006731.X
申请日:2008-02-08
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01L31/076 , H01L31/0463 , Y02E10/548
Abstract: 本发明提供一种能够以低成本获得更高性能的光电变换装置及其制造方法。具备被层叠的至少二层光电变换层、和介于所述二层光电变换层之间且对该二层光电变换层进行电连接及光学连接的中间层(93)的光电变换装置(90),在所述中间层(93)表面上具有等离子体抗性保护层(93A)。
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公开(公告)号:CN100387492C
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN02820736.X
申请日:2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B65D23/02 , C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法,其包括:有底筒状外部电极,其具有在插入作为被处理物的塑料容器时,包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小;衬套,其由电介质材料构成,在插入了所述容器时,至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间;排气管,其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面;内部电极,其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内,其插入深度为所述容器的纵向的大致全长,并与接地侧连接,同时,穿设有用于排出介质气体的排气孔;排气装置,其被安装在所述排气管上;气体供给装置,其用于向所述内部电极供给介质气体;高频电源,其被连接在所述外部电极。
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