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公开(公告)号：CN1676659A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN100482850C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1683584A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN200510062673.0
申请日：2005-04-05
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
CPC classification number: C23C2/20
Abstract: 本发明提供一种不会由于飞溅向板表面附着而造成的膜厚增大和表面品质缺陷等、同时由于生产线速度增大而实现了生产能力提高的液体擦拭装置。该液体擦拭装置，具备与附着在带板(1)上的熔融金属接触而进行机械性擦拭的刮板(6)，其中：在上述刮板(6)的穿引方向出去侧一侧设有由气体进行的压力附加装置(7)，在刮板(6)与带板(1)之间的液膜部分形成与穿引方向对向的气体/液体混相流(15)。
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公开(公告)号：CN1648279A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510006399.5
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN100393907C
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200510062673.0
申请日：2005-04-05
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
CPC classification number: C23C2/20
Abstract: 本发明提供一种不会由于飞溅向板表面附着而造成的膜厚增大和表面品质缺陷等、同时由于生产线速度增大而实现了生产能力提高的液体擦拭装置。该液体擦拭装置，具备与附着在带板(1)上的熔融金属接触而进行机械性擦拭的刮板(6)，其中：在上述刮板(6)的穿引方向出去侧一侧设有由气体进行的压力附加装置(7)，在刮板(6)与带板(1)之间的液膜部分形成与穿引方向对向的气液混相流(15)，刮板(6)的与附着在带板(1)上的液体接触的前端形成为尖状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1648278A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510006398.0
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(18)侧朝玻璃基板(12)侧流入的蒸镀材料(15)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对蒸镀材料(15)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN100510163C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510006399.5
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(19a)、(19b)侧朝混合室(22)侧流入的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对在混合室(22)中混合的蒸镀材料(16a)、(16b)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN100363532C
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200510006398.0
申请日：2005-01-28
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社
Abstract: 本发明涉及真空蒸镀机。通过在真空蒸镀机上设置对于从蒸发室(18)侧朝玻璃基板(12)侧流入的蒸镀材料(15)的蒸气量在玻璃基板(12)的板宽度方向L均匀地控制的阀部件(21)；以及在玻璃基板(12)的下面侧以平行于玻璃基板(12)的被蒸镀面的方式配置，且在蒸镀室(25a)内对蒸镀材料(15)的蒸气进行面内分布和流动的调整的多孔挡板(23)，从而谋求对于玻璃基板(12)的板宽度方向L的蒸镀均匀化。由此，本发明能够提供一种即使对大型基板也能形成蒸镀材料的蒸气的均匀流动同时，还能控制蒸气分布，从而能够对蒸镀进行均匀化的真空蒸镀机。
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公开(公告)号：CN101956163A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010212691.3
申请日：2010-06-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C14/543 , C23C14/52
Abstract: 提供了一种真空气相沉积装置，其中作为用于蒸发气相沉积材料的容器的坩埚放置在真空室内部，并且通过使用在所述坩埚中蒸发的气相沉积材料在基板上形成薄膜。该装置包括用于从所述真空室的外部测量所述坩埚中的所述气相沉积材料的体积的测量装置。
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公开(公告)号：CN1105075C
公开(公告)日：2003-04-09
申请号：CN98801781.4
申请日：1998-12-03
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: B66C19/002 , B66C13/06 , B66C13/08
Abstract: 一种起重机，可从龙门起重机的本体台架上通过钢丝绳搬运悬置载荷，包括用于把悬置载荷固定在本体台架的左右两端的上部的第1和第2钢丝绳，收卷和释放第1和第2钢丝绳的相互连动的元件；和使第1和第2钢丝绳以相反方向缠绕和相同方向缠绕的收卷和释放元件。上述各元件可联系在一起，使作为收卷和释放元件的第1和第2钢丝绳呈环形，通过滑轮的动作使上述各元件移动；使驱动部横向设置或设置在上方；以及直接或通过吊具调节悬置载荷的连接点或导辊的数目和位置。另外，上述各元件可设置成锥形，第1和第2钢丝绳可平行延伸，设有尺寸改变结构，设置双吊具使悬置载荷可微小地摆动。
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