公开(公告)号：CN1676659A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510054767.3

申请日：2005-03-11

Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 ,  三菱重工业株式会社

Inventor： 神川进 ,  森崎裕彦 ,  和田宏三 ,  吉武隆 ,  合田圣彦 ,  平井悦郎 ,  小林敏郎 ,  加藤光雄 ,  平野龙也

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56

Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。

公开(公告)号：CN100482850C

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200510054767.3

申请日：2005-03-11

Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 ,  三菱重工业株式会社

Inventor： 神川进 ,  森崎裕彦 ,  和田宏三 ,  吉武隆 ,  合田圣彦 ,  平井悦郎 ,  小林敏郎 ,  加藤光雄 ,  平野龙也

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56

Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。