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公开(公告)号：CN101182627A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 财团法人山形县产业技术振兴机构 , 三菱重工业株式会社 , 三菱日立制铁机械株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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公开(公告)号：CN1676659A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101182627B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200710169464.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/542
Abstract: 本发明提供一种具有令基板的宽度方向的膜厚分布均匀的喷嘴构造的蒸发源以及使用该蒸发源的真空蒸镀装置。通过加热而令蒸镀材料气化或者升华而产生的蒸气从长条的喷嘴开口(2)带状地排出。另一方面，在与上述喷嘴开口(2)对置的状态下在垂直于该喷嘴开口的长度方向的方向上向箭头(A)方向输送被蒸镀基板(3)。上述喷嘴开口(2)的长度方向的每单位面积的蒸气的排出流量相比该喷嘴开口的中央部而言，与基板端部的位置相同的喷嘴宽度方向位置的部分处最大，并且在喷嘴开口(2)内配置对蒸气的流动赋予指向性的多个分隔板(4)。
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公开(公告)号：CN100482850C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200510054767.3
申请日：2005-03-11
Applicant: 三菱日立制铁机械株式会社 , 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种直列式有机电致发光制造装置，使用与掩膜一体成形的支架支撑基板，并在基板上设置冷却板，以此抑制基板的温度上升而进行连续输送。另外，在装置内部设置差动排气部(D1～D4)，在不同真空度的处理室之间可以不停地连续输送基板。由此，能够提高成膜质量，并且能够提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1213154C
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN00122707.6
申请日：2000-08-10
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C21B13/10
CPC classification number: C21B13/105 , C21B13/10
Abstract: 公开了一种通过使铁材料与还原剂的混合粉末制团成为坯块如压坯或球团，并且在高温气氛中还原所述坯块来生产还原铁的设备。在该设备中，环状的旋转炉床以可旋转方式支撑。对左右两侧炉壁和炉顶进行设置，以便将旋转炉床上方的面积遮盖住，从而形成高温气氛的空间部分。坯块供料部分和坯块出料部分相邻设置于炉顶中。设置有作为介于坯块供料部分，坯块出料部分和高温气氛的空间部分间的隔离件的隔离部件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1807677A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610006228.7
申请日：2006-01-23
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有至少一个设置在坩锅上表面内的狭缝凹槽。所述至少一个狭缝凹槽具有从该坩锅上表面的一端到其另一端的长度。所述至少一个狭缝凹槽用作为用于容纳蒸发材料(掺杂材料等)的部分。可替换地，一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有多个设置在坩锅上表面内的孔。这些孔用作为用于容纳蒸发材料的部分。另外，该坩锅分成多个区域，在坩锅下表面之下为相应区域设置单独的电加热器，从而能通过这些电加热器为相应区域单独控制温度。
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公开(公告)号：CN1221669C
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN00122705.X
申请日：2000-08-10
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C21B13/10
CPC classification number: C21B13/105 , C22B1/245 , C22B5/10 , F27B9/16 , F27B9/36 , F27B2009/3692 , F27B2009/382 , F27B2009/384 , F27D3/08 , F27D13/00 , F27D15/00 , F27D17/001 , F27D17/004 , F27D2017/005
Abstract: 在通过将铁材料和还原剂和混合粉末制团处理形成坯块如团块或球团，并且在高温气氛中还原坯块来生产还原铁时，当还原坯块的温度为900℃或更高时，还原坯块中氧化物含量设置为11%或更多，还原坯块的碱度设置为0.5或更高。
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公开(公告)号：CN1288961A
公开(公告)日：2001-03-28
申请号：CN00122706.8
申请日：2000-08-10
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C21B13/10
CPC classification number: C21B13/10 , C21B13/105 , Y02P10/136
Abstract: 生产还原铁的设备和应用于该设备的干燥坯块的方法。该设备包括将还原剂煤和作为铁氧化物的铁矿石混合制团成坯块的制团机或制块机,干燥坯块的干燥器,在高温还原干坯块的旋转炉床还原炉,在该炉的热排放气体和待送入该炉的燃烧空气间热交换的第一热交换器,和冷却热排放气体的冷却器。在第一热交换器出口侧设置加热干燥空气用的第二热交换器,并将由其加热的干燥空气送入干燥器干燥所述坯块。因此可高效稳定地实施干燥,并稳定地生产高质量还原铁。
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公开(公告)号：CN101440471B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN200810178118.8
申请日：2008-11-19
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/568
Abstract: 本发明公开一种线式膜形成装置，包括：淀积源、防淀积板和屏。淀积源存储不同膜形成材料，并且包括在垂直于传送方向的基板的宽度方向上延伸的开口。所述开口相互平行地分别设置在传送方向的上游侧和下游侧。所述防淀积板隔开与共淀积室相邻的淀积室，并且相互平行地设置在传送方向的上游侧和下游侧，限制来自开口的蒸汽的淀积区域。屏限制并且使来自开口的蒸汽在基板的淀积区域与通过板限定的淀积区域重合。因而，防止单成分模形成而只有混合膜形成在基板上。
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公开(公告)号：CN100503881C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610006228.7
申请日：2006-01-23
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有至少一个设置在坩锅上表面内的狭缝凹槽。所述至少一个狭缝凹槽具有从该坩锅上表面的一端到其另一端的长度。所述至少一个狭缝凹槽用作为用于容纳蒸发材料(掺杂材料等)的部分。可替换地，一种坩锅为在汽化室的整个区域上延伸的整体结构，并具有多个设置在坩锅上表面内的孔。这些孔用作为用于容纳蒸发材料的部分。另外，该坩锅分成多个区域，在坩锅下表面之下为相应区域设置单独的电加热器，从而能通过这些电加热器为相应区域单独控制温度。
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