具有钌涂层的电子束发射器

    公开(公告)号:CN110291609A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201780086182.0

    申请日:2017-12-18

    Abstract: 本发明揭示一种具有保护罩盖层的发射器,所述保护罩盖层位于所述发射器的外部表面上。所述发射器可具有100nm或更小的直径。所述保护罩盖层包含钌。钌是抗氧化及碳生长的。所述保护罩盖层还可具有相对较低的溅镀率以耐离子腐蚀。所述发射器可为具有电子束源的系统的部分。可将电场施加到所述发射器,且可从所述发射器产生电子束。可通过溅镀沉积、原子层沉积ALD或离子溅镀来将所述保护罩盖层施加到所述发射器。

    用于在电光系统中提供清洁环境的系统及方法

    公开(公告)号:CN107667411B

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201680027869.2

    申请日:2016-05-26

    Abstract: 本发明揭示一种电子源的电子提取器,其能够从接近于所述提取器的空腔吸收污染物材料。所述电子提取器包含主体。所述电子提取器的所述主体由一或多种不可蒸发吸气剂材料形成。所述一或多种不可蒸发吸气剂材料吸收容纳于接近于所述电子提取器的所述主体的区域内的一或多种污染物。所述电子提取器的所述主体进一步经配置以从接近于所述电子提取器的所述主体定位的一或多个发射器提取电子。

    用于在电光系统中提供清洁环境的系统及方法

    公开(公告)号:CN107667411A

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:CN201680027869.2

    申请日:2016-05-26

    Abstract: 本发明揭示一种电子源的电子提取器,其能够从接近于所述提取器的空腔吸收污染物材料。所述电子提取器包含主体。所述电子提取器的所述主体由一或多种不可蒸发吸气剂材料形成。所述一或多种不可蒸发吸气剂材料吸收容纳于接近于所述电子提取器的所述主体的区域内的一或多种污染物。所述电子提取器的所述主体进一步经配置以从接近于所述电子提取器的所述主体定位的一或多个发射器提取电子。

    金属囊封光电阴极电子发射器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118263073A

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202311361910.8

    申请日:2019-09-17

    Abstract: 本申请实施例涉及一种金属囊封光电阴极电子发射器。本发明揭示一种光电阴极结构,其可包含Cs2Te、CsKTe、CsI、CsBr、GaAs、GaN、InSb、CsKSb或金属中的一或多者,所述光电阴极结构在外表面上具有保护膜。所述保护膜包含钌、镍、铂、铬、铜、金、银、铝中的一或多者或其合金。所述保护膜可具有从1nm到10nm的厚度。所述光电阴极结构可用于如扫描电子显微镜的电子束工具中。

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