公开(公告)号：CN115380357B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202180028220.3

申请日：2021-04-13

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·G·舒尔茨

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明提供一种电子束系统及方法。所述系统包含具有经配置以检测被反射离开样本的背散射电子的检测器面的检测器。所述系统进一步包含安置于所述检测器面上的环形盖及安置于所述环形盖上以覆盖所述检测器面的保护膜。所述保护膜对于背散射电子透明且对于指向所述检测器面的粒子提供物理势垒。

公开(公告)号：CN114823250A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210487111.4

申请日：2017-06-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·G·舒尔茨 ,  G·德尔加多 ,  F·希尔 ,  E·加西亚(贝里奥斯) ,  R·加西亚

IPC: H01J1/304 ,  H01J1/34 ,  H01J9/02 ,  H01J19/24 ,  H01J19/82 ,  H01J33/04 ,  H01J37/073 ,  G21K5/02

Abstract: 本申请实施例涉及用于真空环境的高亮度含硼电子束发射器。本发明涉及一种发射器，其含有金属硼化物材料，所述发射器具有拥有1μm或更小的半径的至少部分圆形尖端。可施加电场到所述发射器，且从所述发射器产生电子束。为形成所述发射器，从单晶棒移除材料以形成含有金属硼化物材料的发射器，其具有拥有1μm或更小的半径的圆形尖端。

公开(公告)号：CN109314026A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780034257.0

申请日：2017-06-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·G·舒尔茨 ,  G·德尔加多 ,  F·希尔 ,  E·加西亚(贝里奥斯) ,  R·加西亚

IPC: H01J33/04 ,  G21K5/02

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J1/34 ,  H01J9/025 ,  H01J19/24 ,  H01J19/82 ,  H01J2201/30411 ,  H01J2201/30449 ,  H01J2201/30492 ,  H01J2209/0223

Abstract: 本发明涉及一种发射器，其含有金属硼化物材料，所述发射器具有拥有1μm或更小的半径的至少部分圆形尖端。可施加电场到所述发射器，且从所述发射器产生电子束。为形成所述发射器，从单晶棒移除材料以形成含有金属硼化物材料的发射器，其具有拥有1μm或更小的半径的圆形尖端。

公开(公告)号：CN115380357A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202180028220.3

申请日：2021-04-13

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·G·舒尔茨

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明提供一种电子束系统及方法。所述系统包含具有经配置以检测被反射离开样本的背散射电子的检测器面的检测器。所述系统进一步包含安置于所述检测器面上的环形盖及安置于所述环形盖上以覆盖所述检测器面的保护膜。所述保护膜对于背散射电子透明且对于指向所述检测器面的粒子提供物理势垒。