公开(公告)号：CN107667411B

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：CN201680027869.2

申请日：2016-05-26

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·舒尔茨 ,  G·德尔加多 ,  G·罗斯

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/29

Abstract: 本发明揭示一种电子源的电子提取器，其能够从接近于所述提取器的空腔吸收污染物材料。所述电子提取器包含主体。所述电子提取器的所述主体由一或多种不可蒸发吸气剂材料形成。所述一或多种不可蒸发吸气剂材料吸收容纳于接近于所述电子提取器的所述主体的区域内的一或多种污染物。所述电子提取器的所述主体进一步经配置以从接近于所述电子提取器的所述主体定位的一或多个发射器提取电子。

公开(公告)号：CN107667411A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201680027869.2

申请日：2016-05-26

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： W·舒尔茨 ,  G·德尔加多 ,  G·罗斯

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/29

Abstract: 本发明揭示一种电子源的电子提取器，其能够从接近于所述提取器的空腔吸收污染物材料。所述电子提取器包含主体。所述电子提取器的所述主体由一或多种不可蒸发吸气剂材料形成。所述一或多种不可蒸发吸气剂材料吸收容纳于接近于所述电子提取器的所述主体的区域内的一或多种污染物。所述电子提取器的所述主体进一步经配置以从接近于所述电子提取器的所述主体定位的一或多个发射器提取电子。