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公开(公告)号：CN113301699A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN202110569605.2
申请日：2016-06-22
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本申请实施例涉及高效率激光支持等离子体光源。一种用于产生激光支持宽带光的系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件。所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体。所述一或多个光学元件经布置以收集透射通过所述等离子体的所述泵浦光束的未吸收部分且将所述泵浦光束的所述收集的未吸收部分导引回到所述气体的所述部分中。
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公开(公告)号：CN107710880B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201680032513.8
申请日：2016-06-22
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H05H1/24
Abstract: 一种用于产生激光支持宽带光的系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件。所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体。所述一或多个光学元件经布置以收集透射通过所述等离子体的所述泵浦光束的未吸收部分且将所述泵浦光束的所述收集的未吸收部分导引回到所述气体的所述部分中。
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公开(公告)号：CN114667473B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202080078120.7
申请日：2020-11-18
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种用于缓解由真空紫外(VUV)曝光对光学元件引起的损坏的系统。所述系统包含经配置以产生VUV的光源及容纳所选择的分压的一或多种气态氟基化合物的室。所述系统包含一或多个光学元件。所述一或多个光学元件定位于所述室内且暴露于所述一或多种气态氟基化合物。由所述光源产生的所述VUV光具有足以将所述室内的所述氟基化合物解离成初级产物的能量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107710880A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201680032513.8
申请日：2016-06-22
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H05H1/24
Abstract: 一种用于产生激光支持宽带光的系统，其包含：泵浦源，其经配置以产生泵浦光束；气体容纳结构，其用于容纳气体；及多通光学组合件。所述多通光学组合件包含一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以执行所述泵浦光束多次通过所述气体的一部分来支持发射宽带光的等离子体。所述一或多个光学元件经布置以收集透射通过所述等离子体的所述泵浦光束的未吸收部分且将所述泵浦光束的所述收集的未吸收部分导引回到所述气体的所述部分中。
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公开(公告)号：CN106165061A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580018142.3
申请日：2015-04-01
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: H05G2/003 , H01J61/025 , H01J61/302 , H01J65/042 , H05G2/001 , H05G2/008
Abstract: 一种用于横向等离子体泵激的激光维持等离子体光源包含：泵激源，其经配置以产生泵激照明；一或多个照明光学元件；及气体围阻结构，其经配置以围阻一定体积的气体。所述一或多个照明光学元件经配置以通过沿着泵激路径将泵激照明引导到所述气体围阻结构的所述气体体积内的一或多个焦斑而在所述气体体积内维持等离子体。一或多个收集光学元件经配置以沿着收集路径收集由所述等离子体发射的宽带辐射。此外，所述照明光学元件经配置以界定所述泵激路径，使得泵激照明沿着横向于所述收集路径的所述所发射宽带光的传播方向的方向照射所述等离子体，使得所述泵激照明基本上从所述所发射宽带辐射解耦。
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公开(公告)号：CN105593740A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201480052528.1
申请日：2014-08-14
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G02B21/06
Abstract: 本发明揭示使用来自激光维持等离子体的VUV光进行样本的检验，其包含：产生包含第一所选择波长或波长范围的泵浦照明；容纳适用于等离子体产生的一定体积的气体；通过将所述泵浦照明聚焦到所述一定体积的气体中而在所述一定体积的气体内形成等离子体来产生包含第二所选择波长或波长范围的宽带辐射；使用从所述等离子体发射的所述宽带辐射经由照明路径照明样本的表面；收集来自所述样本的表面的照明；将所述经收集照明经由收集路径聚焦到检测器上，以形成所述样本的所述表面的至少一部分的图像；以及使用所选择吹扫气体吹扫所述照明路径及/或所述收集路径。
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公开(公告)号：CN113366610B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202080012279.9
申请日：2020-02-24
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述系统进一步包含经配置以将来自所述多个泵模块的所述相应泵照明脉冲引导到所述激光维持等离子体的集光体积中的多个非共线照明路径。
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公开(公告)号：CN113366610A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080012279.9
申请日：2020-02-24
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述系统进一步包含经配置以将来自所述多个泵模块的所述相应泵照明脉冲引导到所述激光维持等离子体的集光体积中的多个非共线照明路径。
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