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公开(公告)号：CN100470209C
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200610100749.9
申请日：2006-07-04
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 实现一种不会使电路或者传感器的构造复杂化，且可以减轻发热电阻体的污损，减少因老化而导致的测定误差的热式流量测量装置。薄壁部(7)形成于半导体基板(2)上，在该薄壁部(7)配置有发热电阻体(10)、和感温电阻体(13)的一部分。感温电阻体(13)是在电桥电路中位于与发热电阻体(10)对角的位置的电阻，并被配置于接受发热电阻体(10)的热影响的位置。由此可以使发热电阻体(10)的加热温度具有流量依存性，可以使因老化而导致的测定误差减少。
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公开(公告)号：CN1896697A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610105437.7
申请日：2006-07-05
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 实现一种成本不上升，可以降低对隔膜上的电阻体的应力传递，并抑制灵敏度、响应性等特性变化的气体流量计测装置。在隔膜(10)的周围的基板上形成有固定电阻(3、4)和测温电阻体(5)。这些电阻体通过端子(12～24)连接于外部。在隔膜(10)的周围以长度(Xd2)形成有“コ”字状的槽(11)，以便缓和从配置有端子(12～24)的部分向隔膜(10)的应力传递。槽(11)由横槽(11a)和两个纵槽(11b、11c)形成。检测元件(1)的形成有端子(12～24)的区域和形成有隔膜(10)的区域被横槽(11a)划分，形成有端子(12～24)的区域成为固定部。固定部的底部被胶粘剂固定于基板，欲向形成有隔膜(10)的区域传递的安装应力被应力缓和槽(11a)吸收。
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公开(公告)号：CN1122915A
公开(公告)日：1996-05-22
申请号：CN95115320.X
申请日：1995-08-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车工程株式会社
Abstract: 一种内燃机的吸入空气流量计量装置，具有热线式空气流量计、修正热线式空气流量计的应答延迟的装置、检出吸入空气流动方向的装置，由修正应答延迟的装置，和检出吸入空气流动方向的装置检出逆流空气流量，从热式空气流量计的输出和逆流空气流量算出真实的吸入空气流量。
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公开(公告)号：CN87106770A
公开(公告)日：1988-04-20
申请号：CN87106770
申请日：1987-10-07
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立自动工程
CPC classification number: G01F1/698 , G01F1/6842 , G01F1/692 , G01P5/12
Abstract: 公开一种热电阻线空气流量计。加热电阻(1)的绕线管(21)是用二氧化锆或玻璃纤维制成的，在绕线管的表面形成铂膜(31)或缠绕铂线(23)。由一对支承导体(25)在加热电阻的两端支承该加热电阻。
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公开(公告)号：CN101013043B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200710001728.6
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1806159A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016658.6
申请日：2004-03-05
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6842 , G01F1/696
Abstract: 一种提高流量测量精度优异的加热式空气流量计。空气流量计的测量元件由在第1基板上形成发热电阻和温度补偿电阻构成。在支撑流量测量元件的壳体内部容纳具有空气流量计(5)的驱动电路和信号处理装置的第2基板。流量测量元件，配置在空气通路上。进行空气流量计中的2点温度测量的传感器中，第1温度传感器，设置在流量测量元件的第1基板上，第2温度传感器设置在壳体内部的第2基板上。信号处理装置，根据流量测量元件的输出信号和第1、第2温度传感器的输出信号计算空气流量，空气温度，空气壁面温度。
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公开(公告)号：CN1229630C
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1447098A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1155653A
公开(公告)日：1997-07-30
申请号：CN96100286.7
申请日：1996-05-17
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种形成在一基片上，用来测量一目标流体的流动速率的质量气流传感器的测量器，包括：一对并列在该目标流体的流动方向上且形成在该基片上的一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻、一对形成在该基片上的一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻以及若干形成在支撑该基片的一支撑部上的薄膜电极接头，该支撑部与该受热电阻薄膜形成部分和薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离，这些电极接头用来从该受热电阻和非受热环境温度传感电阻取出电信号。
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公开(公告)号：CN101493349B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200910007991.5
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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