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公开(公告)号：CN101013043B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200710001728.6
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号：CN1806159A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016658.6
申请日：2004-03-05
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6842 , G01F1/696
Abstract: 一种提高流量测量精度优异的加热式空气流量计。空气流量计的测量元件由在第1基板上形成发热电阻和温度补偿电阻构成。在支撑流量测量元件的壳体内部容纳具有空气流量计(5)的驱动电路和信号处理装置的第2基板。流量测量元件，配置在空气通路上。进行空气流量计中的2点温度测量的传感器中，第1温度传感器，设置在流量测量元件的第1基板上，第2温度传感器设置在壳体内部的第2基板上。信号处理装置，根据流量测量元件的输出信号和第1、第2温度传感器的输出信号计算空气流量，空气温度，空气壁面温度。
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公开(公告)号：CN1229630C
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1447098A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1155653A
公开(公告)日：1997-07-30
申请号：CN96100286.7
申请日：1996-05-17
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种形成在一基片上，用来测量一目标流体的流动速率的质量气流传感器的测量器，包括：一对并列在该目标流体的流动方向上且形成在该基片上的一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻、一对形成在该基片上的一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻以及若干形成在支撑该基片的一支撑部上的薄膜电极接头，该支撑部与该受热电阻薄膜形成部分和薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离，这些电极接头用来从该受热电阻和非受热环境温度传感电阻取出电信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101493349B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200910007991.5
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号：CN100501344C
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200610006441.8
申请日：2006-01-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种热式流量计，具有由发热电阻器及至少在上下游的2个测温电阻器构成的、位于被计测介质流中的传感器元件，和调整所述发热电阻器的过温度(ΔTh＝Th-Ta)、即所述发热电阻器的温度(Th)与所述被计测介质的温度(Ta)之差的调整单元；所述调整单元，调整所述发热电阻器的过温度，以便使其依存于所述被计测介质的温度，随着所述被计测介质的温度的上升，过温度变低。实现温度特性良好的离差小、成本低的热式流量计。
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公开(公告)号：CN100408981C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200380110717.1
申请日：2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有：温度传感器(16)，其设置于空气流量计的壳体(23)内；运算器(17)，其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压；加热温度控制机构(6b)，其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中，使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差，从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
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公开(公告)号：CN101013043A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710001728.6
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号：CN1834593A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610006441.8
申请日：2006-01-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种热式流量计，具有由发热电阻器及至少在上下游的2个测温电阻器构成的、位于被计测介质流中的传感器元件，和调整所述发热电阻器的过温度(ΔTh＝Th－Ta)、即所述发热电阻器的温度(Th)与所述被计测介质的温度(Ta)之差的调整单元；所述调整单元，调整所述发热电阻器的过温度，以便使其依存于所述被计测介质的温度，随着所述被计测介质的温度的上升，过温度变低。实现温度特性良好的离差小、成本低的热式流量计。
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