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公开(公告)号：CN1229630C
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1447098A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1272606C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN00819268.5
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中，空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接，由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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公开(公告)号：CN1268899C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计(20)具有形成于半导体基板(11)的发热电阻(12H)和测温电阻(12C)。发热电阻(12H)形成于薄壁部(11A)。发热电阻(12H)的两端部分别通过第1引出导体(13H1、13H2)连接到电极(14H1、14H2)。连接于电极(14H1)的第2引出导体(15H1)延伸到空气流量传感器(10)的外周部。连接于电极(14H2)的第2引出导体(15H2、15H3)也延伸到空气流量传感器(10)的外周部，但在途中设置断线部(16)，成为电非导通的状态。
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公开(公告)号：CN1437697A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN00819268.5
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中，空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接，由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1433513A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计20具有形成于半导体基板11的发热电阻12H和测温电阻12C。发热电阻12H形成于薄壁部11A。发热电阻12H的两端部分别通过第1引出导体13H1、13H2连接到电极14H1、14H2。连接于电极14H1的第2引出导体15H1延伸到空气流量传感器10的外周部。连接于电极14H2的第2引出导体15H2、15H3也延伸到空气流量传感器10的外周部，但在途中设置断线部16，成为电非导通的状态。
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公开(公告)号：CN101013043B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200710001728.6
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号：CN1806159A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016658.6
申请日：2004-03-05
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6842 , G01F1/696
Abstract: 一种提高流量测量精度优异的加热式空气流量计。空气流量计的测量元件由在第1基板上形成发热电阻和温度补偿电阻构成。在支撑流量测量元件的壳体内部容纳具有空气流量计(5)的驱动电路和信号处理装置的第2基板。流量测量元件，配置在空气通路上。进行空气流量计中的2点温度测量的传感器中，第1温度传感器，设置在流量测量元件的第1基板上，第2温度传感器设置在壳体内部的第2基板上。信号处理装置，根据流量测量元件的输出信号和第1、第2温度传感器的输出信号计算空气流量，空气温度，空气壁面温度。
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公开(公告)号：CN1155653A
公开(公告)日：1997-07-30
申请号：CN96100286.7
申请日：1996-05-17
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种形成在一基片上，用来测量一目标流体的流动速率的质量气流传感器的测量器，包括：一对并列在该目标流体的流动方向上且形成在该基片上的一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻、一对形成在该基片上的一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻以及若干形成在支撑该基片的一支撑部上的薄膜电极接头，该支撑部与该受热电阻薄膜形成部分和薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离，这些电极接头用来从该受热电阻和非受热环境温度传感电阻取出电信号。
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公开(公告)号：CN101493349B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200910007991.5
申请日：2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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