气体流量计测装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1896697A

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200610105437.7

    申请日:2006-07-05

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F1/692 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 实现一种成本不上升,可以降低对隔膜上的电阻体的应力传递,并抑制灵敏度、响应性等特性变化的气体流量计测装置。在隔膜(10)的周围的基板上形成有固定电阻(3、4)和测温电阻体(5)。这些电阻体通过端子(12~24)连接于外部。在隔膜(10)的周围以长度(Xd2)形成有“コ”字状的槽(11),以便缓和从配置有端子(12~24)的部分向隔膜(10)的应力传递。槽(11)由横槽(11a)和两个纵槽(11b、11c)形成。检测元件(1)的形成有端子(12~24)的区域和形成有隔膜(10)的区域被横槽(11a)划分,形成有端子(12~24)的区域成为固定部。固定部的底部被胶粘剂固定于基板,欲向形成有隔膜(10)的区域传递的安装应力被应力缓和槽(11a)吸收。

    流量测定装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101441097A

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200810178246.2

    申请日:2008-11-17

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F5/00 G01F15/12

    Abstract: 为防止用于测定空气流量的流量测定装置的流量测定元件因灰尘进入吸气管内而产生破损,本发明提供一种流量测定装置,其具有配置于流体流动的主通路内的副通路(8)和在一面侧上设有用于测定流量的发热电阻体的图案且配置在副通路内的平板状部件(5),平板状部件上设有发热电阻体图案的面(5a)沿着副通路内的流体流配置,在平板状部件的面(5a)和副通路的通路形成面(8d)之间构成流体流动的发热电阻体图案侧流体通路部(8a);在平板状部件的面(5a)的相反侧的面(5b)和副通路的通路形成面(8c)之间构成背面侧流体通路部(8b),其中,在平板状部件的上游侧端部设有引导部(13),该引导部将与该端部碰撞的灰尘引导向背面侧流体通路部(8b)侧。

    流量测定装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101441097B

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN200810178246.2

    申请日:2008-11-17

    CPC classification number: G01F1/6845 G01F5/00 G01F15/12

    Abstract: 为防止用于测定空气流量的流量测定装置的流量测定元件因灰尘进入吸气管内而产生破损,本发明提供一种流量测定装置,其具有配置于流体流动的主通路内的副通路(8)和在一面侧上设有用于测定流量的发热电阻体的图案且配置在副通路内的平板状部件(5),平板状部件上设有发热电阻体图案的面(5a)沿着副通路内的流体流配置,在平板状部件的面(5a)和副通路的通路形成面(8d)之间构成流体流动的发热电阻体图案侧流体通路部(8a);在平板状部件的面(5a)的相反侧的面(5b)和副通路的通路形成面(8c)之间构成背面侧流体通路部(8b),其中,在平板状部件的上游侧端部设有引导部(13),该引导部将与该端部碰撞的灰尘引导向背面侧流体通路部(8b)侧。

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