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公开(公告)号：CN1229630C
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1447098A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN02147069.3
申请日：2002-10-29
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , Y10T29/49002 , Y10T29/49007 , Y10T29/4902
Abstract: 一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅(Si)半导体薄膜。在硅(Si)半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)薄膜，它在热元件的生热温度范围中较少渗透和较少吸收氢气。
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公开(公告)号：CN1272606C
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN00819268.5
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中，空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接，由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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公开(公告)号：CN1268899C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计(20)具有形成于半导体基板(11)的发热电阻(12H)和测温电阻(12C)。发热电阻(12H)形成于薄壁部(11A)。发热电阻(12H)的两端部分别通过第1引出导体(13H1、13H2)连接到电极(14H1、14H2)。连接于电极(14H1)的第2引出导体(15H1)延伸到空气流量传感器(10)的外周部。连接于电极(14H2)的第2引出导体(15H2、15H3)也延伸到空气流量传感器(10)的外周部，但在途中设置断线部(16)，成为电非导通的状态。
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公开(公告)号：CN1437697A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN00819268.5
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中，空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接，由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1433513A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计20具有形成于半导体基板11的发热电阻12H和测温电阻12C。发热电阻12H形成于薄壁部11A。发热电阻12H的两端部分别通过第1引出导体13H1、13H2连接到电极14H1、14H2。连接于电极14H1的第2引出导体15H1延伸到空气流量传感器10的外周部。连接于电极14H2的第2引出导体15H2、15H3也延伸到空气流量传感器10的外周部，但在途中设置断线部16，成为电非导通的状态。
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公开(公告)号：CN100501344C
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200610006441.8
申请日：2006-01-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种热式流量计，具有由发热电阻器及至少在上下游的2个测温电阻器构成的、位于被计测介质流中的传感器元件，和调整所述发热电阻器的过温度(ΔTh＝Th-Ta)、即所述发热电阻器的温度(Th)与所述被计测介质的温度(Ta)之差的调整单元；所述调整单元，调整所述发热电阻器的过温度，以便使其依存于所述被计测介质的温度，随着所述被计测介质的温度的上升，过温度变低。实现温度特性良好的离差小、成本低的热式流量计。
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公开(公告)号：CN100408981C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200380110717.1
申请日：2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有：温度传感器(16)，其设置于空气流量计的壳体(23)内；运算器(17)，其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压；加热温度控制机构(6b)，其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中，使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差，从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
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公开(公告)号：CN1834593A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610006441.8
申请日：2006-01-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
Abstract: 一种热式流量计，具有由发热电阻器及至少在上下游的2个测温电阻器构成的、位于被计测介质流中的传感器元件，和调整所述发热电阻器的过温度(ΔTh＝Th－Ta)、即所述发热电阻器的温度(Th)与所述被计测介质的温度(Ta)之差的调整单元；所述调整单元，调整所述发热电阻器的过温度，以便使其依存于所述被计测介质的温度，随着所述被计测介质的温度的上升，过温度变低。实现温度特性良好的离差小、成本低的热式流量计。
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公开(公告)号：CN100470209C
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200610100749.9
申请日：2006-07-04
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 实现一种不会使电路或者传感器的构造复杂化，且可以减轻发热电阻体的污损，减少因老化而导致的测定误差的热式流量测量装置。薄壁部(7)形成于半导体基板(2)上，在该薄壁部(7)配置有发热电阻体(10)、和感温电阻体(13)的一部分。感温电阻体(13)是在电桥电路中位于与发热电阻体(10)对角的位置的电阻，并被配置于接受发热电阻体(10)的热影响的位置。由此可以使发热电阻体(10)的加热温度具有流量依存性，可以使因老化而导致的测定误差减少。
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