公开(公告)号：CN101529356B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN200780040316.1

申请日：2007-10-29

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 安田忠弘 ,  松浦和宏 ,  长井健太郎 ,  慕特·丹尼尔

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/78 ,  G01N35/00 ,  G05B23/02

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/50 ,  G01F1/88 ,  G01F25/0007 ,  G05B23/0221

Abstract: 本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。

公开(公告)号：CN101529356A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200780040316.1

申请日：2007-10-29

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 安田忠弘 ,  松浦和宏 ,  长井健太郎 ,  慕特·丹尼尔

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/78 ,  G01N35/00 ,  G05B23/02

CPC classification number: G05D7/0635 ,  G01F1/50 ,  G01F1/88 ,  G01F25/0007 ,  G05B23/0221

Abstract: 本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。