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发明公开
流体控制装置、流体控制方法及记录介质审中-实审

公开(公告)号：CN116449879A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202310005822.8

申请日：2023-01-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 长井健太郎 , 松浦和宏 , 宫田芳树 , 松本飒太 , 久森阳介

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制方法及记录介质，在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度，流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据上游侧压力以及下游侧压力，计算流过流道的流量；阀，设置在上游侧压力传感器的上游侧或下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由流量计算部计算出的流量，控制阀，当阀处于完全关闭的状态时，流量计算部从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算流量。

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