公开(公告)号：CN1939816A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200610141038.6

申请日：2006-09-28

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 须山敏明 ,  川原慎 ,  山崎胜 ,  六川贵博

IPC: B65G13/00 ,  B65G49/00 ,  B65G49/05 ,  B65H9/16 ,  B08B3/04 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H05K13/02

CPC classification number: H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明公开了一种具有多对基板支撑机构的基板传送装置。所述基板支撑机构包括：第一辊，其设在第一旋转轴上；以及第二辊，其设在第二旋转轴上，所述基板支撑机构在沿基板的厚度方向将所述基板支撑在所述第一和第二辊之间的同时，沿传送方向传送所述基板。所述每对基板支撑机构布置为沿所述基板的宽度方向彼此相对，并且所述多对基板支撑机构沿所述传送方向设置。此外，在所述第一和第二旋转轴中的任何一个上设置有基板位置调节部件，所述基板位置调节部件通过与所述基板中平行于所述传送方向的端面接触来调节所述基板的位置。

公开(公告)号：CN114496886A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111294422.0

申请日：2021-11-03

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 竹元启一 ,  原山洋一 ,  浅川浩行 ,  六川贵博

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板固定装置、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法，该基板固定装置包括：底板；以及静电吸盘，其固定至底板以通过静电力来吸附基板。静电吸盘包括：吸附层，其由陶瓷形成并且与基板接触以吸附并且保持基板；第一加热层，其形成在吸附层上并且包括第一电极；第二加热层，其形成在第一加热层上并且包括第二电极；以及导通部，其设置在第一电极和第二电极之间以将第一电极和第二电极彼此电连接。导通部包括主体部以及与主体部连接的端部。端部的直径大于主体部的直径。

公开(公告)号：CN105246247A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510378393.4

申请日：2015-07-01

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 六川贵博

IPC: H05K1/11 ,  H05K3/40

CPC classification number: H01L23/49827 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/49838 ,  H01L24/16 ,  H01L24/32 ,  H01L24/73 ,  H01L24/81 ,  H01L24/92 ,  H01L25/105 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16238 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/81192 ,  H01L2224/81439 ,  H01L2224/81444 ,  H01L2224/81455 ,  H01L2224/81464 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2225/1023 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2924/15192 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15313 ,  H01L2924/1533 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H05K1/11 ,  H05K3/40 ,  H05K2201/09818 ,  H05K2203/0723

Abstract: 布线基板(10)具备布线层(25，25a)、设置于布线层(25，25a)的面上而用于安装电子部件的多个金属端子(27)、以及将布线层上的形成有多个金属端子的面覆盖的保护层(41)。布线层包括晶种层(26a)和形成于晶种层(26a)之上的金属镀层(26b)，金属镀层(26b)在俯视时具有与晶种层(26a)相同的大小。多个金属端子(27)具有从保护层(41)突出的上端(27c)和具有该上端的宽度以上的宽度的基端(27d)。保护层(41)针对多个金属端子(27)分别具有角焊缝部(41b)。该角焊缝部朝向多个金属端子之中的相应的金属端子的上端面延伸，与多个金属端子之中的相应的金属端子连接。