公开(公告)号：CN114496886A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202111294422.0

申请日：2021-11-03

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 竹元启一 ,  原山洋一 ,  浅川浩行 ,  六川贵博

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板固定装置、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法，该基板固定装置包括：底板；以及静电吸盘，其固定至底板以通过静电力来吸附基板。静电吸盘包括：吸附层，其由陶瓷形成并且与基板接触以吸附并且保持基板；第一加热层，其形成在吸附层上并且包括第一电极；第二加热层，其形成在第一加热层上并且包括第二电极；以及导通部，其设置在第一电极和第二电极之间以将第一电极和第二电极彼此电连接。导通部包括主体部以及与主体部连接的端部。端部的直径大于主体部的直径。

公开(公告)号：CN111261571A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201911193144.2

申请日：2019-11-28

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 饭岛信行 ,  浅川浩行 ,  竹元启一 ,  原山洋一

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种基板固定装置，其具有：底板；设置在所述底板上的发热部；及设置在所述发热部上的静电卡盘。其中，所述发热部具备：发热体；配置在比所述发热体还靠近所述静电卡盘的一侧的金属层；及对所述发热体和所述金属层进行覆盖的绝缘层。所述金属层由热传导率高于所述绝缘层的材料形成。