公开(公告)号：CN1939816A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200610141038.6

申请日：2006-09-28

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 须山敏明 ,  川原慎 ,  山崎胜 ,  六川贵博

IPC: B65G13/00 ,  B65G49/00 ,  B65G49/05 ,  B65H9/16 ,  B08B3/04 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H05K13/02

CPC classification number: H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明公开了一种具有多对基板支撑机构的基板传送装置。所述基板支撑机构包括：第一辊，其设在第一旋转轴上；以及第二辊，其设在第二旋转轴上，所述基板支撑机构在沿基板的厚度方向将所述基板支撑在所述第一和第二辊之间的同时，沿传送方向传送所述基板。所述每对基板支撑机构布置为沿所述基板的宽度方向彼此相对，并且所述多对基板支撑机构沿所述传送方向设置。此外，在所述第一和第二旋转轴中的任何一个上设置有基板位置调节部件，所述基板位置调节部件通过与所述基板中平行于所述传送方向的端面接触来调节所述基板的位置。