公开(公告)号：CN106104787A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480071064.9

申请日：2014-12-22

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。

公开(公告)号：CN104937708B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201380067574.4

申请日：2013-12-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 末端执行器装置(1)具备：机器手(3)，具有收纳空间；及多个保持部(4A、4B)，设置于机器手(3)，分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含：多个支承部(42)，以多个板状构件隔开上下间距的方式，分别支承所述多个板状构件；及间距变换机构(7)，使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A)，以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3)，且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。

公开(公告)号：CN106104787B

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201480071064.9

申请日：2014-12-22

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明的末端执行器装置(1)具备：手(3)；多个保持部(4A)(4B)，设置在手(3)，以多片半导体晶片(9)为水平姿势、且上下相互空出间隔配置的方式保持多片半导体晶片(9)；1个检测器，构成为从上下方向观看配置在多片半导体晶片(9)的外侧，且能够以针对每1片晶片，与半导体晶片(9)的周缘部对向的状态检测半导体晶片(9)的存在；及检测器移动机构(6)，以所述1个检测器与所有半导体晶片(9)的周缘部对向的方式，使所述1个检测器在上下方向与多片半导体晶片(9)相对移动。

公开(公告)号：CN104937708A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201380067574.4

申请日：2013-12-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  宫川大辉

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 末端执行器装置(1)具备：机器手(3)，具有收纳空间；及多个保持部(4A、4B)，设置于机器手(3)，分别保持各板状构件的周缘部。各保持部(4A、4B)包含：多个支承部(42)，以多个板状构件隔开上下间距的方式，分别支承所述多个板状构件；及间距变换机构(7)，使所述多个支承部(42)分别升降而变换间隔。与多个支承部(42)一体地分别线性移动的多个线性移动部(41A)，以露出至机器手(3)的外部的方式设置于所述机器手(3)，且分别驱动间距变换机构(7)的多个线性移动部(41A)的多个驱动部被收纳于机器手(3)的收纳空间。