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公开(公告)号：CN119096344A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202380034957.5
申请日：2023-04-13
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/10
Abstract: 控制装置用于控制具有手部、关节和关节电机的基板运送机器人。所述手部能够保持基板。所述关节的轴朝向上下方向。所述关节电机用于驱动所述关节。所述控制装置以利用所述手部运送所述基板的同时使所述基板通过第一传感器以及第二传感器的方式控制所述关节电机。并且，以所述基板通过2个传感器时所述手部在俯视下的方向从与连结所述2个传感器的直线垂直的方向倾斜的方式进行控制。所述控制装置根据包括所述2个传感器的多个传感器中的任一个传感器检测所述基板的外边缘的至少三次的所述手部的位置，生成显示所述基板相对于所述手部的位置偏移的位置偏移信息。
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公开(公告)号：CN113853280B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202080030816.2
申请日：2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置，用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制，其特征在于，在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时，成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态，在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时，成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态，通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换，在第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。
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公开(公告)号：CN114025925A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202080046702.7
申请日：2020-04-03
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 基板扫描映射装置(4)对收容有沿规定的排列方向排列的多个基板(10)的容器内的基板(10)进行扫描映射。该基板扫描映射装置(4)具备：传感器(16)，其检测基板(10)的状态；操作器(14)，其使传感器(16)移动；以及控制装置(18)，其控制操作器(14)来使传感器(16)沿着扫描映射路径移动。控制装置(18)对在基板(10)的排列方向上位置不同的第一扫描映射位置和第二扫描映射位置进行设定，并使用第一扫描映射位置和第二扫描映射位置来设定扫描映射路径。
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公开(公告)号：CN113853280A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202080030816.2
申请日：2020-07-09
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置，用于对保持基板并进行搬运的机器人的动作进行控制，其特征在于，在末端执行器位于比载置位置靠上方的第1示教点时，成为末端执行器保持基板而在载置位置未载置基板的第1状态，在末端执行器位于比载置位置靠下方的第2示教点时，成为末端执行器不保持基板而在载置位置载置基板的第2状态，通过使机器人进行末端执行器从第1及第2示教点中的任意一个移动到任意另一个的第1动作，从而能够在第1状态与第2状态之间进行切换，在第1动作的中途，不进行末端执行器是否通过了载置位置的判断，且不使末端执行器停止。
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公开(公告)号：CN113747999A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202080030751.1
申请日：2020-06-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人控制装置，用于对保持并搬运基板的机器人的动作进行控制，其特征在于，机器人具备：具有至少1个关节轴的机器人臂、和设置于机器人臂的前端并用于保持基板的末端执行器，并且该机器人与用于载置基板的载置位置邻接地配置，末端执行器的位置及姿势由N个(N为自然数)变量的值规定，对用于通过末端执行器保持已载置于载置位置的基板的末端执行器的保持位置及保持姿势进行规定的N个变量中的至少1个变量的值、和对使保持位置及保持姿势的末端执行器从载置位置退却后的末端执行器的后退位置及后退姿势进行规定的N个变量中的对应的变量的值独立。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN119072777A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202380035850.2
申请日：2023-04-24
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08
Abstract: 本半导体制造装置系统(100)具备包含第一托板支承部(31)和第二托板支承部(32)的基板保持机械手。而且，半导体制造装置系统(100)具备：拍摄部(60)，对包含基板(10)、半导体制造装置的构成要素、和基板保持机械手中的至少一个的检查对象进行拍摄；以及控制部，基于由拍摄部(60)拍摄到的拍摄图像，检测检查对象的状态。拍摄部(60)配置于第二托板支承部(32)。
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公开(公告)号：CN113226662B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201980085786.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J9/10 , H01L21/677 , G05B19/18
Abstract: 本发明涉及机器人控制装置、机器人系统以及机器人控制方法，能够简单地防止由异常点导致机械臂的姿势急剧地变化的机器人控制装置。本发明所涉及的机器人控制装置在将水平多关节机器人的姿势变更为能够保持在容纳装置内容纳的工件的姿势的过程中，在使第3旋转轴与以第1旋转轴为中心并以第1旋转轴与第2旋转轴的距离、和第2旋转轴与第3旋转轴的距离之差为半径的圆的圆周上一致后，使第3旋转轴横穿将第1旋转轴与第2旋转轴连结的第2直线，之后使第2和第3旋转轴分别仅在以将容纳于容纳装置内的工件的中心点与第1旋转轴连结的第2直线为边界分为两个的区域中的任意一个区域移动。
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公开(公告)号：CN117581349A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202280045845.5
申请日：2022-08-17
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 在本发明的基板搬运机器人(100)中，控制部(30)基于由拍摄部(25)拍摄到的图像，取得搬运间隙(C)，并基于所取得的搬运间隙(C)的大小，控制基板(1)从收纳部(200)搬出和向收纳部(200)搬入的至少一方。
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公开(公告)号：CN116648334A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202180085683.3
申请日：2021-11-18
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J13/08
Abstract: 本发明提供一种控制装置。该控制装置对关节的轴朝向上下方向的基板搬送机器人进行控制。驱动所述关节的关节马达能够切换旋转方向。控制装置根据位置偏离信息来修正取出所述基板时以及放置所述基板时中的至少之一的手的位置。控制装置进行控制，以在所述手到达作为修正后的所述手的位置的修正位置之前，所述手经由中继位置。控制装置进行控制，以通过所述关节马达向一个方向驱动所述关节，来使所述手到达所述中继位置，通过所述关节马达仅向相同的一个方向驱动所述关节，来使所述手从所述中继位置到达所述修正位置。
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