公开(公告)号：CN106104785B

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201480074387.3

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 本发明涉及一种末端执行器及基板搬送机器人。本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。

公开(公告)号：CN106104786B

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201480074391.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。

公开(公告)号：CN106104786A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480074391.X

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/68707 ,  B25J9/042 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明的末端执行器(5)包括可分别独立地驱动的第1机器手(8)及第2机器手(9)。第1机器手(8)具有可插入至收容在基板收容部的上下邻接的基板彼此之间的机器手主体(10)，且保持机器手主体(10)的正上方或正下方的基板(S)。第2机器手(9)具有：机器手基部(11)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板(S)中的最下段的基板(S)的下方或最上段的基板(S)的上方；以及基板保持器件(12)，设置在机器手基部(11)，且保持包含最下段或最上段的基板(S)的两片以上的基板(S)。根据该末端执行器(5)，即便在根据基板收容部侧的情况而批次搬送式机器手的使用存在限制的情况下，也可顺利地进行基板搬送。

公开(公告)号：CN106062943B

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201480071011.7

申请日：2014-12-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 本申请案涉及一种末端执行器及衬底搬送机器人。所述末端执行器(2)具备：多个托板主体(5)；及衬底保持机构(6)，设置在多个托板主体(5)各自的托板末端侧。衬底保持机构(6)具有：衬底载置部，供载置衬底的背面缘部；及衬底抵接部，从衬底载置部的托板末端侧朝上方延伸，并供所述衬底的侧端部抵接。以使衬底不能进入至下侧的托板主体(5)的衬底抵接部的上端与上侧的托板主体(5)的背面之间的方式设定衬底抵接部的高度。在具备能够变更上下方向间距的多个托板的末端执行器中，能够顺利地保持高密度搭载的衬底。

公开(公告)号：CN106104785A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480074387.3

申请日：2014-06-27

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 桥本康彦 ,  福岛崇行 ,  金丸亮介 ,  木下真也 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67265 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明的末端执行器(700)包括：机器手基部(701)，至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方；基板保持器件(702)，设置在机器手基部(701)，且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板；以及突出量变更器件(703)，用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。

公开(公告)号：CN106062943A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201480071011.7

申请日：2014-12-19

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 福岛崇行 ,  宮川大辉

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明的末端执行器(2)具备：多个托板主体(5)；及衬底保持机构(6)，设置在多个托板主体(5)各自的托板末端侧。衬底保持机构(6)具有：衬底载置部，供载置衬底的背面缘部；及衬底抵接部，从衬底载置部的托板末端侧朝上方延伸，并供所述衬底的侧端部抵接。以使衬底不能进入至下侧的托板主体(5)的衬底抵接部的上端与上侧的托板主体(5)的背面之间的方式设定衬底抵接部的高度。在具备能够变更上下方向间距的多个托板的末端执行器中，能够顺利地保持高密度搭载的衬底。