公开(公告)号：CN113165189B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN201980079455.8

申请日：2019-12-04

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 斋藤雅行 ,  福岛崇行

IPC: B25J13/08 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基板输送装置及其运行方法，基板输送装置(101)保持并输送基板(1)。该基板输送装置(101)具备保持基板(1)的机械手(20)、安装有机械手(20)的操纵装置(30)、以及配置于机械手(20)并探测距基板(1)的主面的距离的基板检测器(60)。优选基板检测器(60)配置于机械手(20)的前端部。优选基板检测器(60)是静电电容传感器。

公开(公告)号：CN116096537A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202180054595.7

申请日：2021-08-29

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 斋藤雅行

IPC: B25J13/00

Abstract: 本发明提供一种用于运送工件的机器人，该机器人包括臂部、手部、倾斜机构和手姿势控制部。所述手部被设置在所述臂部，且将所述工件保持在上表面侧进行运送。所述倾斜机构能够使所述手部的姿势倾斜。所述手姿势控制部在通过所述手部保持所述工件进行运送的过程中在该手部产生加速度时，通过所述倾斜机构以使与所述加速度的水平方向成份的朝向相反的一侧变高的方式，使所述手部的姿势倾斜。

公开(公告)号：CN113165189A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980079455.8

申请日：2019-12-04

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 斋藤雅行 ,  福岛崇行

IPC: B25J13/08 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基板输送装置及其运行方法，基板输送装置(101)保持并输送基板(1)。该基板输送装置(101)具备保持基板(1)的机械手(20)、安装有机械手(20)的操纵装置(30)、以及配置于机械手(20)并探测距基板(1)的主面的距离的基板检测器(60)。优选基板检测器(60)配置于机械手(20)的前端部。优选基板检测器(60)是静电电容传感器。