研磨设备
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1076248C

    公开(公告)日:2001-12-19

    申请号:CN98106280.6

    申请日:1998-04-09

    CPC classification number: G11B5/488 B24B37/048 B24B41/06

    Abstract: 一种用于均匀地研磨工件的研磨设备。该设备包括一个转动的研磨板,一个研磨座,一个包括用来支承安装座的第一和第二表面的连接器,以及一个设置在该研磨座上用于通过一个支承点支承连接器的第二表面的支承装置。由于支承着该工件的连接器是支承在工件的两个点和研磨板的一个支承点上,因而工件的研磨表面可以接触研磨板并被它所研磨。因此可以均匀地研磨工件而与研磨座的精确度无关。

    研磨设备和研磨方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101376230A

    公开(公告)日:2009-03-04

    申请号:CN200810133681.3

    申请日:2008-07-18

    CPC classification number: B24B37/005 B24B37/042

    Abstract: 研磨滚筒具有研磨表面与工件表面接触。研磨基座具有支撑表面与研磨表面接触并由研磨表面支撑。适配器具有第一支撑部、第二支撑部和臂部。第一支撑部由研磨基座支撑。工件附接至第二支撑部,使得待处理的工件表面接触研磨表面。臂部在第一、第二支撑部之间延伸。高度调节机构调节从研磨表面到第一支撑部的高度。倾斜检测器设置在适配器上以检测适配器的倾斜。通过高度调节机构调节第一支撑部的高度,从而调节适配器相对于研磨表面的倾斜。利用本发明,能够在调节待研磨表面的倾斜的同时高准确度地进行研磨处理。

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