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公开(公告)号：CN101376230A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810133681.3
申请日：2008-07-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B24B19/26
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/042
Abstract: 研磨滚筒具有研磨表面与工件表面接触。研磨基座具有支撑表面与研磨表面接触并由研磨表面支撑。适配器具有第一支撑部、第二支撑部和臂部。第一支撑部由研磨基座支撑。工件附接至第二支撑部，使得待处理的工件表面接触研磨表面。臂部在第一、第二支撑部之间延伸。高度调节机构调节从研磨表面到第一支撑部的高度。倾斜检测器设置在适配器上以检测适配器的倾斜。通过高度调节机构调节第一支撑部的高度，从而调节适配器相对于研磨表面的倾斜。利用本发明，能够在调节待研磨表面的倾斜的同时高准确度地进行研磨处理。
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