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公开(公告)号：CN101408572A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200710182282.1
申请日：2007-10-11
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01R31/00 , G01R31/265 , G01R31/308
Abstract: 本发明系关于一种光学检测方法及装置，用以检测一基板之瑕疵，该光学检测装置包含一光学单元用以产生一光源以照射该基板，一一维以上之数组接收感应器单元用以接收该被照射之基板所产生的一影像，其中该被接受之影像的光波包含特定的波长区段，以及一影像撷取处理单元用以撷取该影像。
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公开(公告)号：CN101650320A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200810145741.3
申请日：2008-08-14
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/958 , G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种光学检测设备，其借助多视角和不同波长的光线所形成的投射图像，可提高基板瑕疵检测的精度和效果，并进一步提高工艺良品率和降低生产成本。该光学检测设备包括一光源、一反射元件、以及一图像采集元件；其中该光源将光线投射至待测物；该反射元件具备至少两个反射面，用以反射经过该待测物的光线；该图像采集元件接收经反射的光线形成的一投射图像。
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公开(公告)号：CN101348899A
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200710130551.X
申请日：2007-07-16
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本案揭示一种具清洁功能的电浆产生装置，用以提供一电浆以清洁一绝缘板，该电浆产生装置包含至少一电浆源与一可动部件，其中该电浆源是位于该绝缘板远离该电浆的一第一侧以透过该绝缘板而产生该电浆，该可动部件则是位于该绝缘板远离该电浆源的一第二侧，以结合于该绝缘板并形成一封闭空间而容置该电浆，进而使该电浆清洁该绝缘板。本发明能有效改善电浆产生装置在辅助化学气相沉积过程中所产生的镀膜很容易附着于处理腔室的内部腔壁而造成处理腔室中电磁波输入端的绝缘板的有效泄露区间缩减并导至电浆有效强度相应减小的现象。
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公开(公告)号：CN103365025A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310110035.6
申请日：2013-03-29
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G01J4/00 , G02F1/167 , Y10T29/49718 , Y10T29/49721 , Y10T29/49764 , Y10T29/49769
Abstract: 本发明公开了一具有多个显像槽的颗粒型影像显示器的制作方法，包括：于多个显像槽中填入多个第一粒子；辨识与一或多个上述显像槽相关的缺陷；及修复一单元中对应于部分上述显像槽中的缺陷。
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公开(公告)号：CN101990352A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200910165375.2
申请日：2009-08-07
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明提供一种电浆产生装置，包含一中空腔体、一慢波天线，以及一电磁波产生器。该中空腔体具有一容置空间。该慢波天线具有一贯穿该容置空间的中心导电管，以及一套设于该中心导电管上的介电质管。该电磁波产生器系耦合电磁波于该慢波天线上，藉此，该电磁波产生器通过该慢波天线向该容置空间传导并辐射一电磁波，产生强度均匀的电浆。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101325147B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200710127008.4
申请日：2007-06-13
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种自动分析修补装置。该自动分析修补装置包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统；其中该自动缺陷修补系统还包含一数据撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时，该数据撷取单元会撷取该待测物的一待分析缺陷数据并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果，接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。
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公开(公告)号：CN101316474A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200710108183.9
申请日：2007-05-30
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，以产生强度均匀的等离子体。该等离子体产生装置包含至少一天线组，该天线组包含至少一第一天线与至少一第二天线，该第一天线与该第二天线分别是用以提供一第一电磁波与一第二电磁波，其中在该第一天线与该第二天线的一重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波可以相互耦合而通过该天线组使该等离子体产生装置产生强度均匀的该等离子体。通过本发明，该等离子体产生装置可以具有制造成本极低而应用性极高的优点，并具有很高的产业价值。
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公开(公告)号：CN103365025B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310110035.6
申请日：2013-03-29
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G01J4/00 , G02F1/167 , Y10T29/49718 , Y10T29/49721 , Y10T29/49764 , Y10T29/49769
Abstract: 本发明公开了一具有多个显像槽的颗粒型影像显示器的制作方法，包括：于多个显像槽中填入多个第一粒子；辨识与一或多个上述显像槽相关的缺陷；及修复一单元中对应于部分上述显像槽中的缺陷。
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公开(公告)号：CN102128838A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010001197.2
申请日：2010-01-15
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源，以及一取像模块，光源设在基板的一侧面并朝该侧面发射一对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度为限制在一第一预定角度内，取像模块设于基板的上方。该方法包括：首先提供至少一光源在一基板的一侧面，并使该光源朝该侧面发射一穿透该基板的光线。并且提供一取像模块，撷取该基板的上表面的影像，其中需使该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内以全反射传递的一第一预定角度内。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。采用上述装置及方法可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。
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公开(公告)号：CN101625328A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200810133087.4
申请日：2008-07-08
Applicant: 台达电子工业股份有限公司
Abstract: 一种表面检测装置及方法，用以非破坏性地检测一受测表面，该装置包括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上，以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面，获得第一表面特性资料，且根据该第一表面特性资料，决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判断受测表面是否具有异质瑕疵，该方法不受待测基材的受测表面所具有的不规则纹路而影响，且其检测准确快速，另外，对受测表面检测完毕后，还可进行复原，不破坏原受测表面。
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