公开(公告)号：CN101339140A

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200710122732.8

申请日：2007-07-02

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 杨璿 ,  赖夏枝 ,  沈家麟

IPC: G01N21/88 ,  G06F17/00

Abstract: 本发明公开一种物件瑕疵检测装置及方法、检测条件之调适方法，用于检测至少一待测物件之一瑕疵信息，其包括步骤，选取该待测物件之一全部影像及一部分影像其中之一；设定一瑕疵辨识方法之复数个检测条件；选择以人工方式调整该等检测条件；依该等影像调整该等检测条件；及基于该等检测条件实施该瑕疵辨识方法以检测该待测物件而产生该待测物件之该瑕疵信息。应用本发明，系统自动调整检测条件参数最佳化，以达到更佳的检测率并更符合使用者对检测结果的期望。

公开(公告)号：CN101625328A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200810133087.4

申请日：2008-07-08

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 何国诚 ,  张仁明 ,  陈诗涌 ,  陈正锴 ,  赖夏枝 ,  许贸雄 ,  林瑞堉 ,  沈家麟

IPC: G01N21/88 ,  G01N1/28 ,  G01N29/04

Abstract: 一种表面检测装置及方法，用以非破坏性地检测一受测表面，该装置包括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上，以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面，获得第一表面特性资料，且根据该第一表面特性资料，决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判断受测表面是否具有异质瑕疵，该方法不受待测基材的受测表面所具有的不规则纹路而影响，且其检测准确快速，另外，对受测表面检测完毕后，还可进行复原，不破坏原受测表面。