公开(公告)号：CN101990352A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN200910165375.2

申请日：2009-08-07

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 寇崇善 ,  潘彦儒 ,  林欣桦 ,  王腾纬 ,  詹议翔 ,  林瑞堉

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种电浆产生装置，包含一中空腔体、一慢波天线，以及一电磁波产生器。该中空腔体具有一容置空间。该慢波天线具有一贯穿该容置空间的中心导电管，以及一套设于该中心导电管上的介电质管。该电磁波产生器系耦合电磁波于该慢波天线上，藉此，该电磁波产生器通过该慢波天线向该容置空间传导并辐射一电磁波，产生强度均匀的电浆。

公开(公告)号：CN101316474A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200710108183.9

申请日：2007-05-30

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 ,  寇崇善 ,  王腾纬 ,  潘彦儒 ,  张子青 ,  俞志杰

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，以产生强度均匀的等离子体。该等离子体产生装置包含至少一天线组，该天线组包含至少一第一天线与至少一第二天线，该第一天线与该第二天线分别是用以提供一第一电磁波与一第二电磁波，其中在该第一天线与该第二天线的一重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波可以相互耦合而通过该天线组使该等离子体产生装置产生强度均匀的该等离子体。通过本发明，该等离子体产生装置可以具有制造成本极低而应用性极高的优点，并具有很高的产业价值。

公开(公告)号：CN101348899A

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200710130551.X

申请日：2007-07-16

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 ,  王腾纬 ,  郭明村 ,  寇崇善 ,  黄崇杰 ,  俞志杰

IPC: C23C16/00 ,  H05H1/46

Abstract: 本案揭示一种具清洁功能的电浆产生装置，用以提供一电浆以清洁一绝缘板，该电浆产生装置包含至少一电浆源与一可动部件，其中该电浆源是位于该绝缘板远离该电浆的一第一侧以透过该绝缘板而产生该电浆，该可动部件则是位于该绝缘板远离该电浆源的一第二侧，以结合于该绝缘板并形成一封闭空间而容置该电浆，进而使该电浆清洁该绝缘板。本发明能有效改善电浆产生装置在辅助化学气相沉积过程中所产生的镀膜很容易附着于处理腔室的内部腔壁而造成处理腔室中电磁波输入端的绝缘板的有效泄露区间缩减并导至电浆有效强度相应减小的现象。