公开(公告)号：CN101325147B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200710127008.4

申请日：2007-06-13

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 张仁明 ,  曾彦馨 ,  许贸雄 ,  林瑞堉

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00

Abstract: 本发明提供一种自动分析修补装置。该自动分析修补装置包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统；其中该自动缺陷修补系统还包含一数据撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时，该数据撷取单元会撷取该待测物的一待分析缺陷数据并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果，接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。

公开(公告)号：CN101325147A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200710127008.4

申请日：2007-06-13

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 张仁明 ,  曾彦馨 ,  许贸雄 ,  林瑞堉

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00

Abstract: 本发明提供一种自动分析修补装置。该自动分析修补装置包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统；其中该自动缺陷修补系统还包含一数据撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时，该数据撷取单元会撷取该待测物的一待分析缺陷数据并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果，接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。