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发明公开
等离子体产生装置无效

公开(公告)号：CN101316474A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200710108183.9

申请日：2007-05-30

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 , 寇崇善 , 王腾纬 , 潘彦儒 , 张子青 , 俞志杰

IPC: H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子体产生装置，以产生强度均匀的等离子体。该等离子体产生装置包含至少一天线组，该天线组包含至少一第一天线与至少一第二天线，该第一天线与该第二天线分别是用以提供一第一电磁波与一第二电磁波，其中在该第一天线与该第二天线的一重叠区域内，该第一电磁波与第二电磁波可以相互耦合而通过该天线组使该等离子体产生装置产生强度均匀的该等离子体。通过本发明，该等离子体产生装置可以具有制造成本极低而应用性极高的优点，并具有很高的产业价值。

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