公开(公告)号：CN101650320A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200810145741.3

申请日：2008-08-14

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 张仁明 ,  许贸雄 ,  陈诗涌 ,  李俞玺 ,  沈家麟 ,  林瑞堉

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明涉及一种光学检测设备，其借助多视角和不同波长的光线所形成的投射图像，可提高基板瑕疵检测的精度和效果，并进一步提高工艺良品率和降低生产成本。该光学检测设备包括一光源、一反射元件、以及一图像采集元件；其中该光源将光线投射至待测物；该反射元件具备至少两个反射面，用以反射经过该待测物的光线；该图像采集元件接收经反射的光线形成的一投射图像。

公开(公告)号：CN101571493A

公开(公告)日：2009-11-04

申请号：CN200810094668.1

申请日：2008-04-29

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 陈诗涌 ,  沈家麟

IPC: G01N21/88 ,  G06F17/50

Abstract: 一种光学缺陷检测后的路径规划方法，包括下列步骤(1)提供一受检物；(2)将该受检物置于一光学检测机台上；(3)以该光学检测机台扫描该受检物；(4)在该受检物上检测出数个缺陷；(5)提供一数值运算模型，得到一条连接该一个以上的缺陷位置的一路径。

公开(公告)号：CN101625328A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200810133087.4

申请日：2008-07-08

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 何国诚 ,  张仁明 ,  陈诗涌 ,  陈正锴 ,  赖夏枝 ,  许贸雄 ,  林瑞堉 ,  沈家麟

IPC: G01N21/88 ,  G01N1/28 ,  G01N29/04

Abstract: 一种表面检测装置及方法，用以非破坏性地检测一受测表面，该装置包括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上，以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面，获得第一表面特性资料，且根据该第一表面特性资料，决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判断受测表面是否具有异质瑕疵，该方法不受待测基材的受测表面所具有的不规则纹路而影响，且其检测准确快速，另外，对受测表面检测完毕后，还可进行复原，不破坏原受测表面。

公开(公告)号：CN201349016Y

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200820126233.6

申请日：2008-07-18

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 ,  张仁明 ,  陈正锴 ,  陈诗涌 ,  林哲民 ,  沈家麟

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型公开了一种太阳能电池的制造装置，其包括一第一承台，该第一承台设置在一基座上；及一划线装置、一检测装置和一修补装置，且均分别设置在第一承台上，其中划线装置用于在一太阳能电池的一平板组件上划线，检测装置用于检测经划线后的平板组件，发现因划线所导致的瑕疵，修补装置用于修补该瑕疵。

公开(公告)号：CN201323206Y

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200820133137.4

申请日：2008-09-08

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 ,  王腾纬 ,  张仁明 ,  李俞玺 ,  陈诗涌 ,  沈家麟 ,  詹议翔 ,  周妍君

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型提供了一种光致电元件的制作装置，其包括设置于基座的第一承台，太阳能板位于该第一承台上；以及检测模块和修复模块，其均分别设置在该第一承台上，其中该检测模块检测该太阳能板而发现该太阳能板的瑕疵，修复模块修复该瑕疵。