公开(公告)号：CN101408572A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200710182282.1

申请日：2007-10-11

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 张仁明 ,  许贸雄 ,  曾彦声 ,  何国诚 ,  杨璿 ,  俞志杰 ,  沈家麟 ,  林瑞堉

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/265 ,  G01R31/308

Abstract: 本发明系关于一种光学检测方法及装置，用以检测一基板之瑕疵，该光学检测装置包含一光学单元用以产生一光源以照射该基板，一一维以上之数组接收感应器单元用以接收该被照射之基板所产生的一影像，其中该被接受之影像的光波包含特定的波长区段，以及一影像撷取处理单元用以撷取该影像。

公开(公告)号：CN101339140A

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200710122732.8

申请日：2007-07-02

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 杨璿 ,  赖夏枝 ,  沈家麟

IPC: G01N21/88 ,  G06F17/00

Abstract: 本发明公开一种物件瑕疵检测装置及方法、检测条件之调适方法，用于检测至少一待测物件之一瑕疵信息，其包括步骤，选取该待测物件之一全部影像及一部分影像其中之一；设定一瑕疵辨识方法之复数个检测条件；选择以人工方式调整该等检测条件；依该等影像调整该等检测条件；及基于该等检测条件实施该瑕疵辨识方法以检测该待测物件而产生该待测物件之该瑕疵信息。应用本发明，系统自动调整检测条件参数最佳化，以达到更佳的检测率并更符合使用者对检测结果的期望。