公开(公告)号：CN102128838A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201010001197.2

申请日：2010-01-15

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 张仁明 ,  李俞玺 ,  周妍君 ,  陈正锴 ,  林瑞堉

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源，以及一取像模块，光源设在基板的一侧面并朝该侧面发射一对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度为限制在一第一预定角度内，取像模块设于基板的上方。该方法包括：首先提供至少一光源在一基板的一侧面，并使该光源朝该侧面发射一穿透该基板的光线。并且提供一取像模块，撷取该基板的上表面的影像，其中需使该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内以全反射传递的一第一预定角度内。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。采用上述装置及方法可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。

公开(公告)号：CN102384908A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201010268905.9

申请日：2010-09-01

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 周妍君 ,  陈正锴 ,  张仁明 ,  李俞玺 ,  林哲民

IPC: G01N21/88

Abstract: 本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法，该装置包含至少一光源、一取像模块，以及一遮光罩。光源设在该基板的其中一侧面处，该光源朝该侧面发射一可对应穿透该基板的光线，该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内可大致以全反射方式传递的第一预定角度内。取像模块设于该基板的上方，用以撷取该基板的上表面的影像。遮光罩，设置于该取像模块与该基板之间，用以遮蔽该基板的上表面的至少一侧的边缘。借此，若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时，则会缺陷处形成亮点，以借取像模块检测到此缺陷的位置。本发明还提供一种基板内部缺陷检查方法，可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。

公开(公告)号：CN201323206Y

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200820133137.4

申请日：2008-09-08

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 ,  王腾纬 ,  张仁明 ,  李俞玺 ,  陈诗涌 ,  沈家麟 ,  詹议翔 ,  周妍君

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型提供了一种光致电元件的制作装置，其包括设置于基座的第一承台，太阳能板位于该第一承台上；以及检测模块和修复模块，其均分别设置在该第一承台上，其中该检测模块检测该太阳能板而发现该太阳能板的瑕疵，修复模块修复该瑕疵。