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公开(公告)号：CN109390411A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201811146879.5
申请日：2018-09-29
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/06 , H01L29/22 , H01L29/221 , H01L21/02
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种叠层有源层薄膜晶体管及其制备方法。所述叠层有源层薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、Al:Nd薄膜栅极、Al2O3:Nd栅极绝缘层、AZO半导体层、Al2O3半导体修饰层以及Al源漏电极构成。本发明采用射频磁控溅射沉积制备得到了AZO半导体层、Al2O3半导体修饰层，构成AZO/Al2O3有源层，AZO薄膜含有的元素为Al、Zn、O，这三种元素资源丰富，且都无毒无害，可以很好的响应当下提倡的绿色环保要求，与此同时可实现大面积的生产，且制备过程不需要加热处理。
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公开(公告)号：CN108943527A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810371177.0
申请日：2018-04-24
Applicant: 华南理工大学
IPC: B29C35/02
CPC classification number: B29C35/02 , B29C35/002
Abstract: 本发明属于光电材料技术领域，公开了一种改善金属有机物分解型银墨水结合强度的方法。所述方法为：将基底超声清洗并烘干，然后在室温下通过喷墨打印的方法将MOD型银墨水图形化，形成液态银薄膜，最后在热台上以180～200℃固化10～20min，得到银薄膜。本发明的方法通过调节热固化工艺参数，促使银颗粒与玻璃衬底产生一定程度的互融或渗透，从而增强MOD型银墨水形成的薄膜与玻璃衬底的结合强度。本发明方法不需要改变银墨水的配方和调节银墨水性质，简单易行，减少了时间和材料成本。
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公开(公告)号：CN107741407A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201711112949.0
申请日：2017-11-13
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01N21/3563 , G01N21/01
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/01 , G01N2021/3595
Abstract: 本发明属于薄膜材料分析领域，公开了一种基于小尺寸薄膜材料红外光谱测试的夹具及测试方法。所述夹具由玻璃片、玻璃片上的金属衬底和金属衬底上的双面胶构成。采用上述夹具对小尺寸薄膜材料进行红外光谱测试的方法如下：将小尺寸薄膜材料待测样品粘贴于所述夹具的双面胶上，然后将粘贴有待测样品的夹具倒置于岛津傅立叶红外光谱仪的样品座上，使待测样品置于样品座开孔中央位置，即可开始测试。本发明以一种简单的样品夹具，解决了小尺寸薄膜样品在使用岛津傅立叶红外光谱测试中遇到的样品掉落、信号弱的问题，且通过在玻璃衬底上镀一层金属膜来增强样品的测试强度，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN107805787B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201710785172.8
申请日：2017-09-04
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于半导体材料技术领域，公开了一种脉冲直流溅射波形调控半导体薄膜成分的方法。所述方法为：将基板清洗和烘干，然后送入磁控溅射设备真空仓中，进行抽气，使本底真空度达到目标值；设置溅射参数，调控脉冲波形的频率和占空比，在室温下对IGZO靶材进行脉冲直流溅射，得到所述IGZO半导体薄膜。本发明的方法不需要热处理等额外工艺，只需通过调制脉冲波形，在室温下对同一块IGZO靶材进行脉冲直流溅射，具有工艺简单、耗时短、节约能源和适用于工业生产的发展潜力，以及能够实现人为调控半导体薄膜特性以应用于不同领域的技术优势。
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公开(公告)号：CN109449199A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811131561.X
申请日：2018-09-27
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/423 , H01L29/49 , H01L29/786 , H01L21/443 , H01L21/34
Abstract: 本发明属于显示领域中薄膜晶体管技术领域，公开了一种全铝透明栅极薄膜晶体管及其制备方法。所述全铝透明栅极薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、堆叠栅极、Al2O3栅极绝缘层、IGZO半导体层、Al2O3半导体修饰层以及Al源漏电极构成，所述堆叠栅极由内至外依次具有AZO/Al/AZO/Al/AZO五层堆叠结构。本发明的AZO/Al/AZO/Al/AZO堆叠栅极薄膜在室温下制备，且具有高透明度，高导电性等优点，该堆叠栅极材料安全无毒，制备成本低，可大面积制备，可广泛应用于透明TFT以及其他透明电子器件中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108511348A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810354534.2
申请日：2018-04-19
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/336 , H01L29/786
Abstract: 本发明属于显示器件领域，公开了一种PEN柔性衬底透明薄膜晶体管及其制备方法。将玻璃基底清洗，烘干后用OCA胶贴上一层PEN；在PEN层上通过射频磁控溅射沉积制备AZO栅极；在AZO栅极上使用射频磁控溅射沉积制备Al2O3栅极绝缘层；在栅极绝缘层上使用脉冲直流磁控溅射沉积IGZO半导体层；使用射频磁控溅射在半导体层上沉积Al2O3半导体修饰层；使用脉冲激光沉积AZO源漏电极，得到PEN柔性衬底透明薄膜晶体管。本发明采用AZO作为TFT器件的栅极和源漏电极，所得TFT器件具有高性能、高透明度且无毒的优点。
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公开(公告)号：CN107507866A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201710582068.9
申请日：2017-07-17
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/22
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L29/22 , H01L29/66522 , H01L29/66742
Abstract: 本发明属于柔性显示器件技术领域，公开了一种多晶氧化物柔性薄膜晶体管及其制备方法。所述多晶氧化物柔性薄膜晶体管由依次层叠的硬质衬底、柔性衬底、栅极、栅极绝缘层、有源层和源/漏电极构成，所述有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构，其中诱导层位于栅极绝缘层一侧。本发明的薄膜晶体管有源层具有诱导层和多晶氧化物半导体层的双层结构，通过诱导层表面的金属离子诱导多晶氧化物半导体晶化，改善结晶性，提升薄膜晶体管的性能，能够在室温下实现高性能的柔性薄膜晶体管。
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公开(公告)号：CN107403832A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710617004.8
申请日：2017-07-26
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/06 , H01L29/786
CPC classification number: H01L29/7869 , H01L29/0684
Abstract: 本发明公开了一种氧化物半导体薄膜晶体管及其用途，该薄膜晶体管其底部是衬底，衬底上设置一栅极，栅极的四周有一绝缘层包覆隔绝，绝缘层之上是有源层，有源层之上是富铟层；该薄膜晶体管的最外层是钝化层，钝化层与富铟层、有源层、绝缘层、衬底围成的区域分别是源电极和漏电极；在本发明的薄膜晶体管中，富铟层提高了载流子浓度和加速载流子的传输，从而提高迁移率；所述的源电极和漏电极含有铜，含铜电极具有低的电阻率，能够有效降低阻抗延迟。本发明的薄膜晶体管使用真空法制备，制备方法简单，有利于大规模生产。所制得的薄膜晶体管同时具有高迁移率、高稳定性和低电阻率源/漏电极的优点。
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公开(公告)号：CN104482498A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410628528.3
申请日：2014-11-10
Applicant: 华南理工大学
CPC classification number: F21S19/005 , F21V13/00 , F21V19/001
Abstract: 本发明公开了地下停车库的太阳光平板灯系统，包括采光系统、导光系统和出光系统，所述出光系统包括背板、导光板和扩散板，导光板设置在背板与扩散板之间，所述导光板的侧部安装有光源，作为出光系统的侧入式光源，所述采光系统通过导光系统连接出光系统，太阳光经过采光系统聚集后通过导光系统传送到出光系统中；导光系统输入光的一端与采光系统的输出光的一端连接，导光系统输出光的一端连接背板底面并且接入到出光系统，输出的光穿过背板底面作为出光系统的直入式光源。本发明将太阳光光源和用电光源相结合，在白天时通过太阳光进行照明，在夜晚时通过用电光源进行照明，具有节能环保以及光照均匀度高的优点。
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公开(公告)号：CN109975527A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910187208.1
申请日：2019-03-13
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01N33/32
Abstract: 本发明属于电子材料墨水分析领域，公开了一种电子材料墨水可印刷性的评估方法。所述方法的具体步骤为：使用旋转流变仪测试电子材料墨水的粘温曲线、蠕变和恢复；使用液滴分析仪测试电子材料墨水的表面张力，将所得测试结果与标准条件进行对比，评估电子材料墨水的可印刷性。本发明以简便的墨水测试方法，解决了印刷电子材料墨水缺乏系统评价方法的问题，对墨水可印刷性的筛选和优化有十分显著的意义，可推动印刷电子产业的发展。
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