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公开(公告)号：CN119194410A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411318823.9
申请日：2024-09-21
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 北方夜视技术股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/40
Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，公开了一种提高微通道板高温烘烤前后体电阻一致性的方法，能够被应用于像增强器、微通道板型光电倍增管等真空光电探测器件中。该方法中，在微通道板氢还原工艺之后，增加原子层沉积工艺的步骤，包括：将微通道板放入真空腔体设备中，在一定的温度和压强下进行氧化铝薄膜的沉积；然后进行电极膜层的制备，测其体电阻，再进行烘烤。通过该方法得到制管后的微通道板体电阻波动范围明显降低，产品一致性得到大幅度的提升。
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公开(公告)号：CN114988710B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210534196.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。
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公开(公告)号：CN114988710A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210534196.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。
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公开(公告)号：CN115015995A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210508937.4
申请日：2022-05-10
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种微通道板通道内壁制备中子敏感膜层的方法，包括：采用原子层沉积技术，使用有机硼前驱体和臭氧或氧等离子体作为两种反应物通过化学反应生成10B2O3膜层；反应产物除了沉积于通道内壁的10B2O3膜层之外，还有胺类及有机气体，无对MCP基底有害的卤化氢气体，因此沉积膜层整体质量较高；通过制备中子敏感膜层的形式，比通过均匀掺杂在MCP基底玻璃中，探测效率可以达到更高的水平。
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公开(公告)号：CN113451089A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110722026.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用刻蚀技术扩大MCP开口面积比的方法及MCP。在常规微通道板的腐蚀工序之后，通道阵列已完成制作，此时，增加一个刻蚀的步骤，采用一定角度的定向的反应离子刻蚀或离子束物理刻蚀，对MCP通道阵列的输入面进行刻蚀处理，处理过程中使得MCP基底进行自转，由此可获得轴对称的扩口结构，显著扩大MCP输入面的开口面积比，结合输入面镀制较浅电极技术，在不影响其他性能的情况下，显著提高MCP对于输入信号的探测效率。同时，在此基础上，在输入面镀制具有高二次电子发射系数的膜层材料，可进一步的提升探测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113451089B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202110722026.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用刻蚀技术扩大MCP开口面积比的方法及MCP。在常规微通道板的腐蚀工序之后，通道阵列已完成制作，此时，增加一个刻蚀的步骤，采用一定角度的定向的反应离子刻蚀或离子束物理刻蚀，对MCP通道阵列的输入面进行刻蚀处理，处理过程中使得MCP基底进行自转，由此可获得轴对称的扩口结构，显著扩大MCP输入面的开口面积比，结合输入面镀制较浅电极技术，在不影响其他性能的情况下，显著提高MCP对于输入信号的探测效率。同时，在此基础上，在输入面镀制具有高二次电子发射系数的膜层材料，可进一步的提升探测效率。
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公开(公告)号：CN115631984A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211236994.8
申请日：2022-10-10
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法，在使用皮料玻璃管和芯料玻璃棒作为基础，经两次拉丝、排屏、热熔压、切片、粗磨、抛光、腐蚀、氢还原、镀膜工艺，获得微通道板原片，微通道板膜层已完成。在此之后，再将微通道板原片置于真空环境中，以预设的烘烤温度进行高温烘烤后，获得高增益的微通道板。本发明通过在制备获得微通道板原片之后，将微通道板原片再置于真空环境中，以预设的烘烤温度进行高温烘烤后，通过高温高真空的烘烤，将镀膜工艺中可能吸附的各种气态反应物与产物进行去除，获得高增益的微通道板，所得的微通道板的增益通过真空烘烤的过程控制，包括烘烤温度、烘烤时间的控制，可实现至少104以上的增益。
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公开(公告)号：CN111968897B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010720098.3
申请日：2020-07-24
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提出了一种微通道板控压氢还原的装置和方法。该装置包括氢还原反应腔体、加热系统、气体供应系统、控压系统、安全防护系统。该方法主要在氢还原反应腔体内进行微通道板的氢还原过程，并通过加热系统控制氢还原反应腔体，使用气体供应系统向氢还原反应腔体通入氮气或氢气，通过控压系统控制氢还原反应腔体内的压力，由安全防护系统保障整个氢还原过程的安全并对产生的尾气进行处理。该装置和方法可以在微通道板氢还原的过程中保证整个氢还原过程处于可控恒压状态，压力范围为1Pa～1×106Pa，最终实现微通道板处于氢还原反应腔体的等温区内时，其氢还原后的体电阻离散系数较小。
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公开(公告)号：CN117139874A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311039972.7
申请日：2023-08-17
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: B23K26/382 , B23K26/00 , B23K26/0622
Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，公开一种基于脉冲飞秒激光加工微孔阵列并制作微通道板的方法，包括：采用脉冲飞秒激光在透明基片上进行激光改性制作出微孔阵列基底，或者通过激光改性与化学蚀刻结合，制作出微孔阵列基底；在加工好的微孔阵列基底的通道内壁制作复合纳米功能膜层，使通道内壁同时具有导电能力与二次电子发射能力；在微孔阵列基底的输入面和输出面，以及对应朝向通道内壁延伸的深度方向镀制金属电极膜层。本发明提出工艺方法能够替代传统微通道板的制备技术，并相对传统工艺来说在制备效率、可控性上具有大幅的提升。
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公开(公告)号：CN111863582B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202010720106.4
申请日：2020-07-24
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超声悬浮旋转式微通道板腐蚀方法，包括以下步骤：将冷加工处理后的毛坯件导入夹具；将夹具依次放入无水乙醇和水中超声清洗；将清洗后的夹具交替放入酸槽和碱槽中进行超声悬浮旋转腐蚀，并控制酸槽和碱槽的反应温度和反应时间，得到微孔阵列微通道板。本发明的腐蚀方法得到的微通道板内壁形貌和表面质量好，提高微通道板的使用寿命和增益，且腐蚀时间少，提高生产效率。
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