公开(公告)号：CN119194410A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411318823.9

申请日：2024-09-21

Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 ,  北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 李涛 ,  丛晓庆 ,  王健 ,  孙建宁 ,  邱祥彪 ,  胡泽训 ,  李婧雯 ,  张欢 ,  黎龙辉 ,  张珈玮 ,  毛洁

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40

Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，公开了一种提高微通道板高温烘烤前后体电阻一致性的方法，能够被应用于像增强器、微通道板型光电倍增管等真空光电探测器件中。该方法中，在微通道板氢还原工艺之后，增加原子层沉积工艺的步骤，包括：将微通道板放入真空腔体设备中，在一定的温度和压强下进行氧化铝薄膜的沉积；然后进行电极膜层的制备，测其体电阻，再进行烘烤。通过该方法得到制管后的微通道板体电阻波动范围明显降低，产品一致性得到大幅度的提升。