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公开(公告)号：CN118522626A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410455843.4
申请日：2024-04-16
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: H01J43/24
Abstract: 本发明提供一种低电阻温度系数高稳定性微通道板及其制备方法，该方法在完全绝缘的微孔阵列基片上，使用原子层沉积技术制备电阻层和发射层使之具备电子倍增能力，形成微通道板。电阻层采用铂掺杂氧化铝的复合膜层，通过膜层制备循环过程中的通水和臭氧的处理，提高羟基的密度，增强金属源化学吸附，实现高密度的金属纳米颗粒，实现电阻层的高可调控性，制作出低电阻温度系数的复合膜层，实现低电阻温度系数高稳定性微通道板，能够抑制常规微通道板低温下体电阻显著增大导致带电流补充不足的问题以及低体电阻微通道板高温下体电阻显著降低导致热溃溢问题，显著拓展微通道板的温度使用区间并提高使用过程中的增益、噪声的稳定性。
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公开(公告)号：CN115621102B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202211176579.8
申请日：2022-09-26
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，公开一种改善小孔径微通道板制备过程中复丝边界网格的方法。在传统微通道板的制板工艺基础上，本发明在排棒工序中选择相同丝径不同孔径的两种单丝，按一定要求进行复丝棒排制，其中复丝边界最外一排采用略大孔径的单丝，复丝顶角和内部采用略小孔径的单丝，由此拉制的复丝可获得阵列结构补偿，使拉复丝过程中复丝边界单丝发生形变后的孔面积与复丝中心区域基本相当，在不影响其他性能的情况下，显著降低小孔径微通道板复丝边界与复丝中心区域因通道增益不均而造成的六边形网格问题，保证制板后各个通道获得一致的增益亮度。
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公开(公告)号：CN111123421B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202010077414.X
申请日：2020-01-29
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及微孔光学元件技术领域，提供一种微孔光学元件超薄低透过率反光膜，包括在微孔光学元件基底上依次形成的有机反射膜和金属反射膜，支撑所述金属反射膜。有机反射膜为紫外反射膜，金属反射膜为可见光反射膜。金属反射膜实现250nm～800nm波段的高反射，有机反射膜实现对100nm～250nm波段具有高反射率，使得超薄低透过率反光膜在100nm～800nm波段内平均透过率≤10‑5。有机材料制成的有机膜，对金属膜起到结构支撑作用，作为连接膜，膜层具有超致密特性，能够提供连续的镀膜基底，使铝膜能够连续生长成膜，有效的阻挡非探测波段的光信号，同时两层膜对X射线光学特性无影响，提高探测系统的分辨率。
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公开(公告)号：CN110560906B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201910710181.X
申请日：2019-08-02
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: B23K26/352 , B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/04 , H01J43/24 , H01J9/12
Abstract: 本发明提供一种降低微通道板通道内表面粗糙度的系统和方法，包括：飞秒激光器，用以产生并输出脉冲光信号；调制光学组件，设置在飞秒激光器的出光侧，用以将飞秒激光器产生的脉冲光信号转变为平行脉冲光束；微通道板固定架，被设置用于固定待处理的微通道板，所述微通道板为一多微孔结构的光学元件，所述每个微孔结构构成一通道；姿态调整组件，固定到所述微通道板固定架上；第一电机，通过驱动机构连接到并将旋转力矩传递到所述姿态调整机构，使得通过姿态调整机构驱动微通道板固定架的姿态调整，从而调整平行脉冲光束进入微通道板通道进行吹扫的角度和位置。通过本发明的均匀性激光脉冲吹扫，可明显降低微通道板的内表面粗糙度以及暗电流密度。
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公开(公告)号：CN111501018A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010388763.3
申请日：2020-05-09
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/02 , H01J9/02 , H01J43/24
Abstract: 本发明涉及MCP技术领域，提供一种利用ALD提高MCP通道镀膜增益稳定性的方法、ALD-MCP及应用。本发明在微通道板的功能层基础上，利用ALD技术沉积Al2O3膜层前，先制作预处理层来实现Al2O3膜层与MCP基底富硅层之间的过渡；然后在预处理层的基础上，通过ALD技术沉积Al2O3膜层。如此，通过预处理层作为ALD沉积Al2O3膜层与MCP基底富硅层之间的过渡，避免形成界面缺陷电荷，提高ALD-MCP增益稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110189847A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910388467.0
申请日：2019-05-10
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于龙虾眼X射线光学器件的空间X射线通信系统。X射线信号源发射出的X射线信号经过准直光学系统后变成发散角很小的准平行X射线光束，在真空信道中传播一段距离后再由龙虾眼型聚焦光学系统将X射线光子聚焦到SDD探测器上，经过信号处理系统解调解码等过程还原出通信信号。本发明能够减小信号X射线发射源的发散角度以及增大信号接收端的探测效率，进而大幅度地提高空间X射线的通信距离。
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公开(公告)号：CN107622930B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201710743036.2
申请日：2017-08-25
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司 , 中国科学院高能物理研究所
Abstract: 本发明公开了高量子效率的微通道板型光电倍增管、双碱光电阴极及制备方法，获得的双碱光电阴极呈多层碱锑化物依次堆叠在基底上，从双碱光电阴极的基底至外表面方向上碱锑化物的组成呈锑元素逐渐减少、碱金属元素逐渐增多的规律。由此获得稳定的双碱光电阴极结构，重复性好；且在双碱光电阴极内部形成自建电场，有利于电子被激发到真空中，由此得到的微通道板型光电倍增管的量子效率高。
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公开(公告)号：CN106548821A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610856017.6
申请日：2016-09-28
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: G21K1/06 , C23C16/40 , C23C16/18 , C23C16/455
CPC classification number: G21K1/062 , C23C16/18 , C23C16/403 , C23C16/45529 , G21K1/067 , G21K2201/061
Abstract: 本发明提供一种具有高反射率内壁的微孔光学元件及其制备方法，该微孔光学元件为密集排布的方形微孔曲面阵列，使用原子层沉积技术在方形微孔内壁沉积复合薄膜，该复合薄膜的材料种类和复合结构经过合理的设计，能够提高X射线在微孔光学元件的通道内壁的反射率，通过这种方法，能够大幅度的提升微孔光学元件的聚焦性能，从而提升器件对于微弱X射线信号的探测精度与效率。
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公开(公告)号：CN116817778A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310608402.9
申请日：2023-05-27
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种微通道板受力形变量测试装置与方法，包括测试基座、可控力施加装置、夹持机构以及光学检测模块，光学检测模块输出端与计算机系统连接。可控力施加装置从微通道板的底部中心区域可控地施加压力，位于微通道板的正上方的光学检测模块从微通道板的顶部检测微通道板受力后的形变状态。本发明提出的微通道板受力形变量测试方法与装置，通过反向的天平结构对MCP底部中心区域施加可控作用力，在上方使用工具显微镜或3D轮廓仪测试MCP中心相较于边缘的形变量，可方便快捷的以形变系数来量化表征MCP的结构强度，实现微通道板用于像增强器、微通道板组件等器件中的抗冲击性能模拟测试。
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公开(公告)号：CN112420477B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202011191113.6
申请日：2020-10-30
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
IPC: H01J43/24 , H01J9/02 , C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本发明提供一种高增益、低发光ALD‑MCP及其制备方法与应用。高增益、低发光ALD‑MCP的制备方法，包括将MCP基底置于臭氧环境下进行预设时间周期的预处理；以及预处理完成后，在MCP基底上原位制备MgO/Al2O3复合膜层，其中先制备MgO膜层，再制备Al2O3膜层。本发明首先使用臭氧对MCP基底进行处理，减少MCP基底中的氧空位等缺陷；然后采用ALD技术，使用乙基二茂镁与臭氧作为前驱体制备出氧化镁膜层；最后使用三甲基铝与臭氧为前驱体反应制备出氧化铝膜层。如此，依靠具有强氧化能力的臭氧减少通道内壁复合功能膜层以及原始基底内表面的氧空位缺陷，减少与电子复合概率，从而降低发光概率；同时最大程度的提高ALD制备的复合功能膜层的二次电子发射能力获得高增益。
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