采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法

    公开(公告)号:CN115631984A

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211236994.8

    申请日:2022-10-10

    Abstract: 本发明提供一种采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法,在使用皮料玻璃管和芯料玻璃棒作为基础,经两次拉丝、排屏、热熔压、切片、粗磨、抛光、腐蚀、氢还原、镀膜工艺,获得微通道板原片,微通道板膜层已完成。在此之后,再将微通道板原片置于真空环境中,以预设的烘烤温度进行高温烘烤后,获得高增益的微通道板。本发明通过在制备获得微通道板原片之后,将微通道板原片再置于真空环境中,以预设的烘烤温度进行高温烘烤后,通过高温高真空的烘烤,将镀膜工艺中可能吸附的各种气态反应物与产物进行去除,获得高增益的微通道板,所得的微通道板的增益通过真空烘烤的过程控制,包括烘烤温度、烘烤时间的控制,可实现至少104以上的增益。

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