一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途

    公开(公告)号:CN117263520A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311096069.4

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 本发明涉及一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途,方法包括1)将铅玻璃原料混合、研磨、冲压、成型、切割、磨抛,得到铅玻璃薄片材料;2)将所述铅玻璃薄片材料,进行激光诱导局域改性、化学选择性腐蚀,得到具有铅玻璃通孔阵列结构的基底材料;3)将所述基底材料,通过氢还原处理或原子层沉积,制作电阻性二次电子发射层,得到铅玻璃通孔微通道板。本发明的通道孔径和孔间距可调、倍增成像鉴别率高、电子增益可调、探测量子效率高、暗电流噪声低、动态范围大,能广泛应用在微光像增强器、光电倍增管、质谱仪、光子计数器和辐射探测等领域。本发明制作方法操作简便、环境友好,工艺条件温和、能耗低,成本低廉、产量大,有利于推广应用。

    一种阵列微通道板、其制作方法与用途

    公开(公告)号:CN117198839A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311096104.2

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 本发明涉及一种阵列微通道板、其制作方法与用途,方法包括:1)将不含铅玻璃原料混合、研磨、冲压、成型、切割,得到玻璃薄片材料;2)将所述玻璃薄片材料,进行激光钻孔、化学腐蚀,得到具有孔通道阵列结构的基底材料;3)将所述基底材料,沉积上氧化物半导体电阻性二次电子发射层,得到阵列微通道板。本发明所述阵列微通道板是一种典型的电子倍增器,其通道孔径和孔间距可调、倍增成像鉴别率高、电子增益可调、探测量子效率高、暗电流噪声低、动态范围大,能广泛应用在微光像增强器、光电倍增管、质谱仪、光子计数器和辐射探测等领域。本发明制作方法操作简便、环境友好,工艺条件温和、能耗低,成本低廉、产量大,更有利于实际应用。

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