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公开(公告)号：CN114988710B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210534196.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。
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公开(公告)号：CN114988710A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210534196.7
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 江苏贵琂电子科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电子数量，提高微通道板的探测效率，从而有利于提高MCP的增益。
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公开(公告)号：CN119194410A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411318823.9
申请日：2024-09-21
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司 , 北方夜视技术股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/40
Abstract: 本发明涉及微通道板技术领域，公开了一种提高微通道板高温烘烤前后体电阻一致性的方法，能够被应用于像增强器、微通道板型光电倍增管等真空光电探测器件中。该方法中，在微通道板氢还原工艺之后，增加原子层沉积工艺的步骤，包括：将微通道板放入真空腔体设备中，在一定的温度和压强下进行氧化铝薄膜的沉积；然后进行电极膜层的制备，测其体电阻，再进行烘烤。通过该方法得到制管后的微通道板体电阻波动范围明显降低，产品一致性得到大幅度的提升。
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公开(公告)号：CN115015995A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210508937.4
申请日：2022-05-10
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种微通道板通道内壁制备中子敏感膜层的方法，包括：采用原子层沉积技术，使用有机硼前驱体和臭氧或氧等离子体作为两种反应物通过化学反应生成10B2O3膜层；反应产物除了沉积于通道内壁的10B2O3膜层之外，还有胺类及有机气体，无对MCP基底有害的卤化氢气体，因此沉积膜层整体质量较高；通过制备中子敏感膜层的形式，比通过均匀掺杂在MCP基底玻璃中，探测效率可以达到更高的水平。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113451089A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110722026.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用刻蚀技术扩大MCP开口面积比的方法及MCP。在常规微通道板的腐蚀工序之后，通道阵列已完成制作，此时，增加一个刻蚀的步骤，采用一定角度的定向的反应离子刻蚀或离子束物理刻蚀，对MCP通道阵列的输入面进行刻蚀处理，处理过程中使得MCP基底进行自转，由此可获得轴对称的扩口结构，显著扩大MCP输入面的开口面积比，结合输入面镀制较浅电极技术，在不影响其他性能的情况下，显著提高MCP对于输入信号的探测效率。同时，在此基础上，在输入面镀制具有高二次电子发射系数的膜层材料，可进一步的提升探测效率。
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公开(公告)号：CN113451089B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202110722026.7
申请日：2021-06-28
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用刻蚀技术扩大MCP开口面积比的方法及MCP。在常规微通道板的腐蚀工序之后，通道阵列已完成制作，此时，增加一个刻蚀的步骤，采用一定角度的定向的反应离子刻蚀或离子束物理刻蚀，对MCP通道阵列的输入面进行刻蚀处理，处理过程中使得MCP基底进行自转，由此可获得轴对称的扩口结构，显著扩大MCP输入面的开口面积比，结合输入面镀制较浅电极技术，在不影响其他性能的情况下，显著提高MCP对于输入信号的探测效率。同时，在此基础上，在输入面镀制具有高二次电子发射系数的膜层材料，可进一步的提升探测效率。
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公开(公告)号：CN115631984A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211236994.8
申请日：2022-10-10
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本发明提供一种采用真空烘烤工艺提升MCP增益的方法，在使用皮料玻璃管和芯料玻璃棒作为基础，经两次拉丝、排屏、热熔压、切片、粗磨、抛光、腐蚀、氢还原、镀膜工艺，获得微通道板原片，微通道板膜层已完成。在此之后，再将微通道板原片置于真空环境中，以预设的烘烤温度进行高温烘烤后，获得高增益的微通道板。本发明通过在制备获得微通道板原片之后，将微通道板原片再置于真空环境中，以预设的烘烤温度进行高温烘烤后，通过高温高真空的烘烤，将镀膜工艺中可能吸附的各种气态反应物与产物进行去除，获得高增益的微通道板，所得的微通道板的增益通过真空烘烤的过程控制，包括烘烤温度、烘烤时间的控制，可实现至少104以上的增益。
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公开(公告)号：CN215696364U
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202121986375.1
申请日：2021-08-23
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种微通道板自动清洗装置，包括：真空转移机构，用于吸住至少一个抛光后的微通道板；装板圆盘，用于与真空转移机构对接，并接住从真空转移机构下落的微通道板；电机；传动组件，一端啮合到电机的输出端实现扭矩输出，另一端可拆卸地连接到装板圆盘，并通过电机驱动装板圆盘转动；超声波清洗机，具有多个清洗槽；电机、传动组件与装板圆盘被设置成可上下伸缩运动以及水平移动，以将装载有微通道板的装板圆盘在不同的清洗槽内清洗。利用本实用新型的微通道板自动清洗装置，对抛光后的微通道板进行表面旋转超声波清洗，在提高抛光清洗效率的同时，消除了人员操作差异带来的表面质量差异，保证微通道板的洁净度。
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公开(公告)号：CN215713358U
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202121986374.7
申请日：2021-08-23
Applicant: 北方夜视科技(南京)研究院有限公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/52 , C23C16/455
Abstract: 本实用新型提供一种用于微通道板原子层沉积设备的固态源稳定蒸发装置，包括：水浴槽；设置有固态源的固态源瓶，所述固态源瓶容纳在水浴槽内，并进行水浴加热；控温装置，所述控温装置用于控制所述水浴槽中水保持设定的温度；超声波发生器，位于水浴槽的底部；超声波控制器，与所述超声波发生器连接，所述超声波控制器用于控制超声波发生器的运行，以使水浴槽中水发生振动并辐射到固态源瓶及其中的固态源。本实用新型提出基于水浴与超声波振动辅助的固态源稳定蒸发装置，在较低温度下即可实现固态源的稳定蒸发，在达到相同蒸发量的情况下加热温度更小，且不易结块，降低了原子层沉积设备管道的温耗，并且固态源的消耗保持稳定状态。
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