一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统

    公开(公告)号:CN115385065A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210992374.0

    申请日:2022-08-18

    Abstract: 本发明实施例公开了一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统,传样装置包括旋转抵触抓取部和端盖部,且旋转抵触抓取部与端盖部之间通过弹性复位元件组连接,其中,旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件、至少一组内套筒组件和外套筒组件;且,至少内套筒组件和外套筒组件中远离端盖部的一端各自形成有与样品托配合的配接口;至少内套筒组件和外套筒组件沿周向方向可自转地设置。实现了在不更换传样装置的前提下,能够针对性适配不同的样品托且能够在操作过程中进行自适应/自动切换,大大降低换件时间和真空环境的构建时间,提高整体的操作效率,降低在更换样品托的前提下的操作成本的效果。

    一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统

    公开(公告)号:CN115385065B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202210992374.0

    申请日:2022-08-18

    Abstract: 本发明实施例公开了一种同轴可切换样品托的传样装置和超高真空传样系统,传样装置包括旋转抵触抓取部和端盖部,且旋转抵触抓取部与端盖部之间通过弹性复位元件组连接,其中,旋转抵触抓取部至少包括自内而外顺次套接且同轴设置的中轴组件、至少一组内套筒组件和外套筒组件;且,至少内套筒组件和外套筒组件中远离端盖部的一端各自形成有与样品托配合的配接口;至少内套筒组件和外套筒组件沿周向方向可自转地设置。实现了在不更换传样装置的前提下,能够针对性适配不同的样品托且能够在操作过程中进行自适应/自动切换,大大降低换件时间和真空环境的构建时间,提高整体的操作效率,降低在更换样品托的前提下的操作成本的效果。

    一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法

    公开(公告)号:CN113403587B

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN202110685863.7

    申请日:2021-06-21

    Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

    一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法

    公开(公告)号:CN113403587A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110685863.7

    申请日:2021-06-21

    Abstract: 本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

    一种基于帕尔贴效应的超高真空冷却装置

    公开(公告)号:CN218120320U

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202222382281.4

    申请日:2022-09-08

    Abstract: 本实用新型实施例公开了一种基于帕尔贴效应的超高真空冷却装置,包括帕尔贴制冷机构、贴附散热机构、密闭阀组和保护外壳;且,所述帕尔贴制冷机构至少包括自内而外顺次套接的冷端套筒和热端套筒,且所述冷端套筒至少侧边围合形成有容纳腔;所述贴附散热机构用于贴附于所述热端套筒外表面上,并对所述热端套筒进行冷却;所述保护外壳和所述密闭阀组配合形成有密封腔,至少部分所述帕尔贴制冷机构和所述贴附散热机构位于所述密封腔中。实现了能够在真空等环境下直接使用,实现小型化操作,并使得操作环境可以达到尽可能低的温度的效果。

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