公开(公告)号：CN113140641A

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN202110405178.4

申请日：2021-04-15

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 许自强 ,  刘立巍 ,  王业亮 ,  候延辉 ,  黄泽平 ,  杨涵 ,  张全震 ,  张腾

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0203 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供了一种柔性二维材料光探测器阵列及其制作方法，能够在室温和大气环境下能稳定工作。本发明的柔性二维材料光探测器阵列，其中的二维材料NbSe2通常存在三棱柱结构(2H相)或八面体结构(1T相)，2H相为半金属，1T相为莫特绝缘体，生长的大面积或体材料通常是2H相，2H相的半金属薄膜因其光电导特性适合作为光电器件的光敏层材料，且相比于体材料具有较低的暗电流，对波长为532nm到808nm光谱范围内的光照具有响应。