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公开(公告)号：CN116086720A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211681851.8
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备，包括检测机构、控制机构和终端系统，所述检测机构用于对轴封唇的气密封进行检测，所述控制机构用于控制和监测检测机构检测过程中的气压大小、气体流速和温度，所述终端系统用于控制检测机构和控制机构、数据传输记录和报警急停，所述检测机构包括有加热底座、中负荷体、轴封环、封板、工装轴、电机定子和电机转子，加热底座上设置有若干个安装孔。本发明对真空泵用轴封的轴封唇气密性地检测准确，检测中轴封模拟工作状态，避免由于轴封唇气密性问题引起的泵腔粉尘泄露至油腔或油腔的油进入泵腔的情况，从而降低由于这方面的问题对真空泵性能及寿命的影响，提高整个产品的可靠性。
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公开(公告)号：CN116085256A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211673395.2
申请日：2022-12-26
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
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公开(公告)号：CN119267149A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411465475.8
申请日：2024-10-21
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一体集成式真空获得系统设备，包括机柜本体（1），机柜本体（1）的内部布置有真空获得设备（4）、氮气加热设备（9）、板阀（3）、整体控制系统（5）、管路（6）以及管路加热设备（8），机柜本体（1）通过控制面板（2）控制集成式真空获得系统设备的所有开关，控制面板（2）监测真空获得系统设备的运行数据，如果出现异常，及时通过警报器（7）发出警报，机柜本体（1）的机柜门上设置有机柜进气口（10），机柜本体（1）的顶部布置有机柜排气口（11）、负压传感器和局部排风机，本发明将真空获得设备以及管路均布置在机柜内，可以及时预警，降低了易燃易爆风险。
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公开(公告)号：CN116123091A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211662639.7
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。
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公开(公告)号：CN118423280A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410496767.1
申请日：2024-04-24
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵的润滑结构，油箱的底部储存润滑油液形成油池，吸油斜面部件安装在润滑通道的底端并且浸泡在润滑油液里，吸油斜面部件浸在润滑油液的油液面以下，附着在吸油斜面部件内锥面的润滑油液受离心力作用而沿壁面上升，上升后的润滑油液经润滑通道流至密封动环的导油孔，然后在重力作用力下经过密封动环和密封定环之间的通道，进入轴承润滑轴承并带走热量，最后向下流至接油盘的内部，经过接油盘重新流回油池，形成润滑油的循环，油箱底部设有冷却水管，冷却水管连通有冷却水，用于冷却润滑油液，本发明可以将油液向上运输，解决了竖直放置真空干泵的轴承润滑问题，集成度高，冷却效果好。
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公开(公告)号：CN117212164A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311397467.X
申请日：2023-10-26
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种爪式真空泵的进排气口结构，包括上级隔板和下级隔板，所述上级隔板包括泵腔排气面和下级转子的进气面，所述下级隔板包括下级泵腔排气面和后级转子的进气面，所述泵腔排气面和所述下级转子的进气面和所述下级泵腔排气面和所述后级转子的进气面径向为交错设置；本发明结构简单，设计合理，本发明提出一种阶梯式进排气口结构，为排出的气体预留一定的缓冲空间，同时，也为下一级进气设置缓冲区域，两部分的缓冲区域能减小返流的产生，有效地解决目前进排气口返流大、影响极限真空问题。
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公开(公告)号：CN116857401A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310824237.0
申请日：2023-07-06
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检测组件包括有第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置集成阀块上，所述第一压力传感器的感应端设置在集成阀块进气通道内用于检测进气端的压力，所述第二压力传感器设置在导气通道的出气端用于检测出气压力；本发明结构简单，设计合理，使用压力传感器检测进气压力，通过压力传感器反馈的模拟量转化反馈流量，实现压力到流量的转化，实现电控上的可检测，并大幅度降低成本。
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公开(公告)号：CN116045049A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211681856.0
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器，包括消音器主体，所述消音器主体的内部设置有用于进气和排气的导气腔，所述消音器主体上在导气腔的内部设置有阀板组件，所述消音器主体的两端均设置有用于连接进气管和排气管的连接组件，所述阀板组件包括有导向柱和PTFE阀板，所述导向柱的下端与消音器主体之间通过支架连接。本发明在关闭干式真空泵后，能在一定时间内防止气体倒流，消音效果好，并且可以防止消音器受气体腐蚀导致功能丧失，同时与桶状结构的消音器相比，其体积小，对空间需求低，可适用的场合较广，另外由于其易于实现的特点，成本也很低，避免了桶状结构消音器由于复杂管路结构与焊接带来的高成本付出。
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公开(公告)号：CN114421710B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111619190.1
申请日：2021-12-28
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵散热系统，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的电机，所述电机的外壁设置有散热片，所述散热片的中心轴位置设置有主轴，所述电机的外壁安装有散热组件，所述电机的尾部安装有保护壳，所述保护壳的内部设置有扇叶组件和滤网组件。本一种干式真空泵散热系统，通过凸轮旋转带动按压杆旋转，使按压杆配合第二弹簧带动刷杆上下移动，进而带动毛刷摆动，更好的对滤网表面进行清洁。
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公开(公告)号：CN119450991A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411562179.X
申请日：2024-11-05
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: H05K5/02 , F04D27/00 , G06F30/23 , G06F30/28 , H05K7/20 , G06F113/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种降低易燃易爆风险的集成式真空系统机柜，机柜柜体开设有进气口，机柜柜体的顶部开设有排气口和负压传感器，机柜柜体的内部布置有真空获得设备和管路，当抽取气体功能降低或发生失效时发出预警信号，在ANSYS有限元分析软件中进行仿真计算，ANSYS有限元分析软件包括前处理模块、分析计算模块和后处理模块，前处理模块提供实体建模及网格划分工具，用于构造机柜柜体的有限元模型；分析计算模块包括结构分析和流体动力学分析，用于模拟多种物理介质的相互作用；后处理模块将计算结果以彩色等值线显示出来，同时将计算结果以曲线形式进行输出，本发明能够及时抽走易燃易爆气体，降低了燃爆风险。
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