一种干式真空泵的定子部件

    公开(公告)号:CN114593059A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202011430505.3

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明属于真空泵领域,具体地说是一种干式真空泵的定子部件,包括内部设有转子安装腔的定子部件本体,定子部件本体与另一个定子部件的定子部件本体连接的部件接触面上分别设有内层环槽和外层环槽,内层环槽中安装有内层密封件,外层环槽中安装有外层密封件;定子部件本体上还设置有直接连通外接气源和转子安装腔内部的排气侧孔口处的配气通道。本发明采用双层密封件的结构有效延长了整体密封结构的使用寿命,增强了干式真空泵的可靠性;通过配气通道的设置,可直接将清洗气体通入到泵内,减少清洗气体流导损耗的同时有利于真空泵级间可凝性气体的排出,也有利于被抽取的粉尘介质的排出,不在泵内死角残留和堆积。

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