公开(公告)号：CN114607597A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202011408753.8

申请日：2020-12-04

Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

Inventor： 王光玉 ,  刘志东 ,  毕德龙 ,  秦柏林 ,  麻方宇 ,  王璟

IPC: F04C18/12 ,  F04C25/02 ,  F04C23/02

Abstract: 本发明属于真空泵技术领域，特别涉及一种真空泵内转子轴组件。包括主动轴、多级主动转子、从动轴及多级从动转子，其中主动轴上设有多级主动转子，多级主动转子中除了一级主动转子以外其余的各级主动转子通过键Ⅰ与主动轴连接；从动轴上设有多级从动转子，多级从动转子中除了一级从动转子以外其余的各级从动转子通过键Ⅱ与从动轴连接。本发明采用键定位各级转子，键另一端安装在主动轴或从动轴上，并且转子和轴套采用分体式，加工简单，更换方便。

公开(公告)号：CN114593063A

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN202011407804.5

申请日：2020-12-04

Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

Inventor： 王光玉 ,  孔祥玲 ,  刘志东 ,  刘在行 ,  张佳崎 ,  王璟

IPC: F04C29/12 ,  F04C25/02 ,  F16K17/04

Abstract: 本发明涉及一种真空泵，特别涉及一种具有旁通结构的真空泵。包括旁通阀结构、真空泵体及封板，其中旁通阀结构安装在真空泵体一侧的封板内，并且连接在真空泵体的排气腔和进气腔之间；旁通阀结构可通过排气腔压力打开，从而将排气腔气体返回至进气腔。本发明将旁通结构安装在真空泵体和转子一侧的封板中，当旁通结构打开时，气体通过旁通结构由排气口返回到进气口，这样可以在大气压力下同时开启罗茨真空泵，使罗茨真空泵和前级泵同时连续运转，可以缩短抽气时间，提高工作效率。