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公开(公告)号：CN114607603A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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公开(公告)号：CN114607603B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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公开(公告)号：CN114593052A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202011412108.3
申请日：2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空干泵技术领域，具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法，转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧，其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心，切圆圆弧设于转子叶顶部，且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆，以转子顶部面密封来代替原先的线密封，从而大大降低了压缩气体的反流率，提高了转子的极限压力与压缩比，同时降低了转子型线干涉的几率，避免了转子卡死。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114607597A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011408753.8
申请日：2020-12-04
Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于真空泵技术领域，特别涉及一种真空泵内转子轴组件。包括主动轴、多级主动转子、从动轴及多级从动转子，其中主动轴上设有多级主动转子，多级主动转子中除了一级主动转子以外其余的各级主动转子通过键Ⅰ与主动轴连接；从动轴上设有多级从动转子，多级从动转子中除了一级从动转子以外其余的各级从动转子通过键Ⅱ与从动轴连接。本发明采用键定位各级转子，键另一端安装在主动轴或从动轴上，并且转子和轴套采用分体式，加工简单，更换方便。
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公开(公告)号：CN118566106A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410501439.6
申请日：2024-04-25
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: G01N17/00
Abstract: 本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置，包括真空腔室（1）、排气真空泵（7）、气体循环泵（9）、气体导管（10）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、真空计（6）和电控阀体（2），温度探测器（5）的探头向内延伸至样品方式区域，用于测量样品周围的实时温度，真空计（6）测量真空腔室（1）内部的真空度（1），电控阀体（2）通过阀体通断配合，实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动，当氟气浓度低于设定数值时，实验装置自动排气、抽真空、补充氟气，氟气浓度及真空度达均达到设定数值后，实验装置开启气体内部循环流动功能，便于腐蚀性气体进行腐蚀测试。
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公开(公告)号：CN114593052B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011412108.3
申请日：2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空干泵技术领域，具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法，转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧，其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心，切圆圆弧设于转子叶顶部，且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆，以转子顶部面密封来代替原先的线密封，从而大大降低了压缩气体的反流率，提高了转子的极限压力与压缩比，同时降低了转子型线干涉的几率，避免了转子卡死。
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公开(公告)号：CN114593059A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202011430505.3
申请日：2020-12-07
Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵的定子部件，包括内部设有转子安装腔的定子部件本体，定子部件本体与另一个定子部件的定子部件本体连接的部件接触面上分别设有内层环槽和外层环槽，内层环槽中安装有内层密封件，外层环槽中安装有外层密封件；定子部件本体上还设置有直接连通外接气源和转子安装腔内部的排气侧孔口处的配气通道。本发明采用双层密封件的结构有效延长了整体密封结构的使用寿命，增强了干式真空泵的可靠性；通过配气通道的设置，可直接将清洗气体通入到泵内，减少清洗气体流导损耗的同时有利于真空泵级间可凝性气体的排出，也有利于被抽取的粉尘介质的排出，不在泵内死角残留和堆积。
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公开(公告)号：CN114593055A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202011437770.4
申请日：2020-12-07
Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级干式真空泵，其中主泵体内设有主动转子轴和从动转子轴，且主动转子轴两端和从动转子轴两端分别安装于第一侧封板和第二侧封板上，并且主动转子轴的驱动轴端伸入至齿轮箱中并通过挠性联轴器与电机的电机转子轴连接，电机转子轴另一端转动安装于电机的壳体后端，主动转子轴上套设有主动齿轮，从动转子轴上套设有从动齿轮与所述主动齿轮啮合，主泵体包括多级腔体，且在各级腔体内均设有主动转子和从动转子，并且各级腔体内的主动转子均套装于所述主动转子轴上，各级腔体内的从动转子均套装于所述从动转子轴上。本发明运行更加可靠平稳，耐冲击性更强，具有体积小、抽速大、节约能源和空间等特点。
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