公开(公告)号：CN112066901A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN202010876592.9

申请日：2020-08-27

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 刘世杰 ,  张徐 ,  周游 ,  白云波 ,  鲁棋 ,  徐天柱

IPC: G01B11/16 ,  G01B9/02

Abstract: 一种超声可调光谱干涉测量的测量装置和测量方法，测量装置包括超宽光谱激光光源、环形器、超声波发生器、换能器、铝板、布拉格光纤光栅、光纤微调整架、陷光器、扩束输出镜、分光棱镜、CCD相机、准直透镜、透射标准镜、待测元件和标准反射镜。超宽光谱激光光源产生宽谱光束，超声波发生器和换能器用于产生频率可调的超声波，铝板传递超声波对布拉格光纤光栅调制，光纤微调整架对光栅位置进行微调，环形器将宽谱光源与光栅反射光束分开，陷光器用于吸收光栅透射光，CCD相机用于记录干涉相位图。本发明在测量过程中，通过调整超声频率的大小即可实现光源相干长度的调节，从而可实现高平行度平板元件前后表面面形误差的快速同步的测量。

公开(公告)号：CN115900589A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211626814.7

申请日：2022-12-16

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 张徐 ,  刘世杰 ,  鲁棋 ,  徐天柱 ,  公维超 ,  孙莹

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/25 ,  G01J9/02

Abstract: 一种动态载频干涉条纹发自动调零方法，包括步骤1)调零前预处理；寻找最新采集的干涉条纹图的二维离散傅里叶变换频谱图中的零频位置；计算频谱图中正或负一级频谱位置跟零频位置之间的相对偏移量；根据相对偏离量分别计算在夹具的绝对偏摆和俯仰方向上调节的相对位移量，并控制相应电机进行调节；采集移动结束后的载频干涉条纹进行二维离散傅里叶变换；判断此时频谱图中是否满足零频状态即只剩零频或者当正或负一级频谱位置与零频位置偏差在误差允许范围内，直至达零条纹状态，调节结束。本发明具备更加智能、准确和高效的特点。

公开(公告)号：CN112066901B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202010876592.9

申请日：2020-08-27

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 刘世杰 ,  张徐 ,  周游 ,  白云波 ,  鲁棋 ,  徐天柱

IPC: G01B11/16 ,  G01B9/02015

Abstract: 一种超声可调光谱干涉测量的测量装置和测量方法，测量装置包括超宽光谱激光光源、环形器、超声波发生器、换能器、铝板、布拉格光纤光栅、光纤微调整架、陷光器、扩束输出镜、分光棱镜、CCD相机、准直透镜、透射标准镜、待测元件和标准反射镜。超宽光谱激光光源产生宽谱光束，超声波发生器和换能器用于产生频率可调的超声波，铝板传递超声波对布拉格光纤光栅调制，光纤微调整架对光栅位置进行微调，环形器将宽谱光源与光栅反射光束分开，陷光器用于吸收光栅透射光，CCD相机用于记录干涉相位图。本发明在测量过程中，通过调整超声频率的大小即可实现光源相干长度的调节，从而可实现高平行度平板元件前后表面面形误差的快速同步的测量。