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公开(公告)号：CN107598869A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710809671.6
申请日：2017-09-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: B25H1/14
Abstract: 本发明提供了一种阻尼可调的精密直驱气浮平台，平台的气浮左支承机构、气浮右支承机构与大理石底座固定连接，工作台与气浮左支承机构、气浮右支承机构连接；光栅读数头固定安装在工作台侧面，光栅尺与气浮右支承机构固定连接；直线电机安装过渡板连接在工作台的底部，驱动用直线电机动子、阻尼用直线电机动子与直线电机安装过渡板固定连接，驱动用直线电机定子、阻尼用直线电机定子与大理石底座固定连接；本发明为阻尼可调的高精度定位装置，结构简单，操作方便。
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公开(公告)号：CN106769046A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710011964.X
申请日：2017-01-09
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: G01M13/04
CPC classification number: G01M13/04
Abstract: 本发明提供了一种空气静压轴承的轴向刚度测量装置，所述装置通过力加载装置A和力加载装置B将大小相等的轴向承载力通过挡板均匀施加在空气静压轴承转子的顶端；再通过力传感器A和力传感器B读取施加在空气静压轴承转子顶端的轴向承载力；之后通过位移传感器A和位移传感器B读取空气静压轴承下端和顶端的空气静压轴承气膜轴向间隙变化量，通过位移传感器C读取空气静压轴承的轴向变形量；计算空气静压轴承刚度为施加在空气静压轴承上的承载力的变化量和承载力的变化量引起的实际的轴向气膜间隙变化量之间的比值。该装置可实现测量过程中空气静压轴承轴向变形误差的有效分离，从而提高了空气静压轴承轴向刚度测量精度。
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公开(公告)号：CN106640971B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201710137519.8
申请日：2017-03-09
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供了一种静压气体止推轴承。所述的静压气体止推轴承采用具有微结构腔的节流孔，以及在轴承工作面上加工一定数量的微结构槽，从而使气流在通过节流孔与气膜间隙的过程中经历多次膨胀，通过多次膨胀的热力学损失来增强节流孔与气膜间隙中的节流效应，从而达到提高刚度的目的。本发明具有结构简单，加工成本低，工艺稳定，质量可控等优点，其刚度比传统的小孔节流静压气体止推轴承高，而制造成本与传统的小孔节流静压气体止推轴承相近。
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公开(公告)号：CN106441752B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201610982242.4
申请日：2016-11-09
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: G01M5/00
Abstract: 本发明公开了一种静压导轨刚度测试加载机构，所述的加载机构中竖直导轨单元的立柱固定在底座上，横导轨安装板安装在立柱中的滚珠丝杠Ⅰ上，水平导轨单元安装在横导轨安装板上，水平导轨单元中的工作台安装在滚珠丝杠Ⅱ上，分度单元中的连接轴承座安装在工作台上，加载力施加单元中的固定座安装在分度单元中的上调整板上。水平导轨单元、竖直导轨单元和分度单元，实现了加载力施加机构空间位置的调整，以适应不同的导轨；加载力施加单元中的差分螺母，实现了螺杆的垂直方向的缓慢进给，从而达到了加载力的精确施加，同时加载力施加单元中连接传感器，能够实时测量加载力的大小。本发明能够实现加载力无伤施加且位置、方向、大小较大范围的调整。
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公开(公告)号：CN106769047A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710012041.6
申请日：2017-01-09
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: G01M13/04
CPC classification number: G01M13/04
Abstract: 本发明提供了一种空气静压主轴的径向刚度测量装置，所述装置通过力加载装置A和力加载装置B将大小相等的径向承载力均匀施加在空气静压主轴转子的上下两端；再通过力传感器A和力传感器B读取施加在空气静压主轴转子的上下两端的径向承载力；之后通过位移传感器A和位移传感器B读取空气静压主轴气膜径向间隙变化量，通过位移传感器C读取空气静压主轴的径向变形量；计算空气静压主轴刚度为施加在空气静压主轴上的承载力的变化量和承载力的变化量引起的实际的径向气膜间隙变化量之间的比值。该装置可实现测量过程中空气静压主轴径向变形误差的有效分离，从而提高了空气静压主轴径向刚度测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107598869B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201710809671.6
申请日：2017-09-11
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: B25H1/14
Abstract: 本发明提供了一种阻尼可调的精密直驱气浮平台，平台的气浮左支承机构、气浮右支承机构与大理石底座固定连接，工作台与气浮左支承机构、气浮右支承机构连接；光栅读数头固定安装在工作台侧面，光栅尺与气浮右支承机构固定连接；直线电机安装过渡板连接在工作台的底部，驱动用直线电机动子、阻尼用直线电机动子与直线电机安装过渡板固定连接，驱动用直线电机定子、阻尼用直线电机定子与大理石底座固定连接；本发明为阻尼可调的高精度定位装置，结构简单，操作方便。
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公开(公告)号：CN107725592A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710913209.0
申请日：2017-09-30
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
CPC classification number: F16C32/0614 , F16C32/0622 , F16C32/0625 , F16C41/004 , F16C2380/26 , H02K11/22
Abstract: 本发明公开了一种环形狭缝节流的气浮转台，所述的气浮转台中的转轴由止推节流器和径向节流器支承，气体从进气管接头进入，沿气道给径向节流器和止推节流器供气，用于支承转轴。电机转子和圆光栅与转轴同轴装配，电机定子固定在壳体中，电机定子通电后产生电磁场，驱动电机转子和转轴旋转，圆光栅反馈角度信号，实现转轴的精确定位。本发明利用零件表面加工的台阶，通过装配形成环形狭缝，狭缝宽度与气膜厚度接近，因此气隙内部气体流动的速度变化较小，产生气锤振动的概率较小。内部气道布置简单，加工时狭缝不易堵塞，降低了加工难度。在不增加尺寸、不更改材料的情况下，可增大供气压力，进一步提高了气浮转台的刚度和精度。
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公开(公告)号：CN107269702A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710593252.3
申请日：2017-07-20
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0622
Abstract: 本发明提供了一种静压气体径向轴承。所述的轴承包括轴承外体与转子，转子位于轴承外体的内部，转子的外表面直径略小于轴承外体的轴承工作面的直径，从而形成轴承间隙；所述的轴承工作面上沿圆周方向均匀设置有数个结构相同的节流孔；节流孔为通孔，在通孔中设置有数个微结构腔；节流孔上端的孔口位于轴承工作面上，节流孔下端与设置在轴承外表面的供气孔连通；在轴承工作面上设置有微结构槽；微结构槽位于节流孔的两侧。本发明具有结构简单，加工成本低，工艺稳定，质量可控等优点，其刚度比传统的小孔节流静压气体径向轴承高，而制造成本与传统的小孔节流静压气体径向轴承相近。
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公开(公告)号：CN106640971A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710137519.8
申请日：2017-03-09
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: F16C32/06
CPC classification number: F16C32/0622 , F16C32/0692 , F16C2322/39 , F16C2370/00
Abstract: 本发明提供了一种静压气体止推轴承。所述的静压气体止推轴承采用具有微结构腔的节流孔，以及在轴承工作面上加工一定数量的微结构槽，从而使气流在通过节流孔与气膜间隙的过程中经历多次膨胀，通过多次膨胀的热力学损失来增强节流孔与气膜间隙中的节流效应，从而达到提高刚度的目的。本发明具有结构简单，加工成本低，工艺稳定，质量可控等优点，其刚度比传统的小孔节流静压气体止推轴承高，而制造成本与传统的小孔节流静压气体止推轴承相近。
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公开(公告)号：CN106441752A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610982242.4
申请日：2016-11-09
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
IPC: G01M5/00
CPC classification number: G01M5/0025
Abstract: 本发明公开了一种静压导轨刚度测试加载机构，所述的加载机构中竖直导轨单元的立柱固定在底座上，横导轨安装板安装在立柱中的滚珠丝杠Ⅰ上，水平导轨单元安装在横导轨安装板上，水平导轨单元中的工作台安装在滚珠丝杠Ⅱ上，分度单元中的连接轴承座安装在工作台上，加载力施加单元中的固定座安装在分度单元中的上调整板上。水平导轨单元、竖直导轨单元和分度单元，实现了加载力施加机构空间位置的调整，以适应不同的导轨；加载力施加单元中的差分螺母，实现了螺杆的垂直方向的缓慢进给，从而达到了加载力的精确施加，同时加载力施加单元中连接传感器，能够实时测量加载力的大小。本发明能够实现加载力无伤施加且位置、方向、大小较大范围的调整。
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