一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识方法

    公开(公告)号:CN113609620B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202110920314.3

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识方法,包括:分析超精密机床的结构特征,确定进给系统的空间拓扑结构;根据所需辨识的进给系统空间拓扑结构设计伺服动刚度检测辨识试件;规划设计的所述伺服动刚度检测辨识试件的加工工艺;根据规划的加工工艺,采用所述超精密机床进行试件加工;采集试件加工过程中的过程数据;对采集的数据进行处理,计算得到进给系统的伺服动刚度。本发明以实际切削工件为参考源,整个过程并未额外增加加载装置等外部零件,加工过程即为检测辨识过程,解决仪器检测方法与实际加工过程状态偏差而引起的检测结果不准确的局限性问题,实现了检测辨识结果代表机床加工状态下的真实伺服动刚度水平。

    一种超精密机床的跟踪误差识别与补偿方法

    公开(公告)号:CN113759823B

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202111111249.6

    申请日:2021-09-18

    Abstract: 本发明公开了一种超精密机床的跟踪误差识别与补偿方法,包括以下步骤:获得机床控制模块的传递函数;获得机床结构模块的传递函数;耦合控制模块的传递函数和结构模块,获得微纳运动台开环状态和闭环状态下的传递函数;建立跟踪误差补偿模型;建立超精密机床直线轴的理论运动轨迹,确定理论指令值,结合光栅信号的实时反馈,计算出跟踪误差的补偿量,发送到微纳运动台实现误差补偿;获得补偿后的传递函数。本发明针对精密车床的直线轴跟踪误差,探究动态跟踪误差的影响规律,进而通过微纳运动平台提出了宏微双驱动的在线误差补偿策略,最终提升加工精度。

    基于模糊PID自整定计算的超精密车床运动控制方法

    公开(公告)号:CN112486099A

    公开(公告)日:2021-03-12

    申请号:CN202011439944.0

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明公开了一种基于模糊PID自整定计算的超精密车床运动控制方法,涉及超精密切削加工技术领域,它主要包括以下步骤:以车床的直线运动导轨为被控对象,获取该直线运动导轨的预设位置信息与实际位置信息,根据预设位置与实际位置的偏差值及偏差值变化率,采用模糊PID控制算法计算出控制输出量,将该控制输出量输入至控制系统中来控制所述直线运动导轨运动。本发明在模糊PID控制中采用了一种论域参数自整定方法,将其引入到模糊PID控制中,能够实现自主学习并提高超精密车床导轨控制系统的静动态性能,进而达到提高超精密切削加工精度的目的。

    基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置及控制方法

    公开(公告)号:CN111922766A

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN202010922619.3

    申请日:2020-09-04

    Abstract: 本发明公开了基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置,其技术方案要点是:所述运动平台包括运动部件以及与运动部件活动连接的支撑部件;所述运动部件设有磁控进给部件和电磁转化部件,电磁转化部件与磁控进给部件的输出端连接;电磁转化部件与支撑部件之间的接触面为平行面,磁控进给部件控制电磁转化部件的移动方向与接触面垂直设置;磁控进给部件、电磁转化部件的信号输入端均与控制器的信号输出端连接,磁控进给部件、电磁转化部件依次响应于运动平台的精加工反馈信号。在机床加工的最后一道工序时,在调整好进给量之后,通过电磁转化部件将运动部件吸附于支撑部件之上,不仅可以减小外界对该运动平台的干扰,也可以削弱身的振动强度。

    一种微型超精密单点金刚石飞切机床

    公开(公告)号:CN110733141A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201911106074.2

    申请日:2019-11-13

    Abstract: 本发明公开了一种微型超精密单点金刚石飞切机床,包括机床隔振系统及设置在机床隔振系统上的床身、X轴进给系统、在位测量系统、主轴系统、工件、工件装夹系统和Z轴进给系统,X轴进给系统与Z轴进给系统安装于床身上,成T型布置,且X轴进给系统中线与Z轴进给系统中线相隔30mm,整机尺寸为500mm*620mm*500mm。主轴系统通过主轴定位块与主轴安装块调整位姿并安装于X轴进给系统的载物台上。主轴箱上安装有激光位移传感器,可以实现飞切机床的实时加工量的测量。本发明通过降低机床尺寸维度、创新机床设计方案有效的克服了传统飞切机床的不足,极大地避免了误差源的引入,提高了机床的加工精度,具有操作简单,智能化程度高的特点。

    一种气浮旋转接头
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109630780B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN201910099005.7

    申请日:2019-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种气浮旋转接头,包括外筒体、连接在外筒体上的支架以及安装在外筒体内的芯轴,所述芯轴为其上设置有流体流通通道的空心结构,所述外筒体上设置有第一管路通道和第二管路通道,所述第一管路通道和第二管路通道两者为相互独立的流体流通通道,且两者的其中一端均位于外筒体的外侧;所述芯轴与外筒体间隙配合,所述两者中,其中一者的另一端与位于芯轴与外筒体之间的间隙相通,另一者的另一端与芯轴上的流体流通通道相通。本旋转接头克服了传统旋转接头存在的运动精度较差、磨损较大、振动较强等的不足,能够有效提高旋转接头的运动精度及使用寿命。

    一种气浮转台
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110067811B

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN201910463467.2

    申请日:2019-05-30

    Abstract: 本发明公开了一种气浮转台,包括轴承组件、反馈组件、驱动组件,所述轴承组件包括节流器及安装在节流器内侧的转子,所述驱动组件包括电机定子及电机动子,还包括底座、定子压环及动子固定支架,所述电机定子通过定子压环与底座固定连接,所述动子固定支架固定于转子上,电机动子固定于动子固定支架上;所述转子、节流器、电机动子、电机定子四者同轴,且在转子的径向方向,所述四者按照转子、节流器、电机动子、电机定子顺序由内至外依次排布,电机动子及电机定子朝向转子轴线的投影均落在转子上。本气浮转台的结构设计中,通过降低气浮转台的高度,可扩大其适用范围,使得其对空间大小的适应力更强。

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